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3B1B光束线是北京同步辐射装置(BSRF)3B1光刻束线的一条分支束线,其光路和布局如图1所示.从北京正负电子对撞(BEPC)储存环3B1弯转磁铁处引出的同步辐射水平线偏振光,光源水平方向发散角为±3.75mrad,竖直方向发散角为±0.2mrad,在距源13.5m处由一块柱面准直扫描镜M1反射后,水平方向的汇聚角为±1.25mrad,竖直方向发散角不变.在距源24m处,有一块可升降的旋转抛物面反射镜M2.它降下时,光通过供其他实验站使用;升起时,将光反射聚焦于上方0.6m处生物光学实验站光栅… 相似文献
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简单介绍了BSRF软X射光学实验反射率计装置,并给出了近年来本组在软X射线多层膜方面的研究结果。 相似文献
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简述了北京同步辐射装置X射线衍射实验站的实验装置,工作性能.利用X射线衍射仪开展了非晶周期多层膜、半导体超晶格结构研究,测量了Si3N4材料残存应力微区分布. 相似文献
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《现代物理知识》2008,(2):41-41
北京正负电子对撞机(BEPC)通过高能加速器加速正负电子,利用高速正负电子韵对撞研究高能物理的基本过程;同时高能带电粒子加速运动产生的副产物——同步辐射可提供真空紫外至硬X光波段的高强度光源,可用来开展各领域的研究工作。北京同步辐射装置(BSRF)是利用同步辐射光源进行科学研究的装置,是对社会开放的大型公用科学设施,是我国凝聚态物理、材料科学、化学、生命科学、资源环境及微电子等交叉学科开展科学研究的重要基地。目前已建成若干条光束线和实验站的同步辐射装置。BSRF有两种运行模式:兼用或专用模式,兼用模式用于高能物理对撞实验,同时也提供同步辐射光;专用模式专用于同步辐射研究。 相似文献
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BSRF圆二色谱研究进展 总被引:3,自引:1,他引:2
圆二色(CD)谱是一种特殊的吸收谱,它对手性分子的构象十分敏感,因此它是最重要的光谱实验之一。北京同步辐射装置(BSRF)3B1B生物光谱实验站已经投入运行,它提供单色聚焦的同步辐射光,波长覆盖范围170nm~500nm该站的主要设备是一台圆二色谱仪,用这台仪器成功地获取了活性生物样品~捕光色素(LigtHarvestChlorophyll)的CD谱,同时测得樟脑磺酸(CamphorSulfoni 相似文献
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Upgrading design of the 3B1A beamline for x-ray nanometre lithography of microelectronic devices at BSRF 下载免费PDF全文
Beijing Synchrotron Radiation Facility is a partly dedicated synchrotron radiation source operated in either parasitic or dedicated mode. The 3B1A beamline, extracted from a bending magnet, was originally designed as a soft x-ray beamline for submicro x-ray lithography with critical lateral size just below 1μm in 1988 and no change has been made since it was built. But later the required resolution of x-ray lithography has changed from sub-micrometre to the nanometre in the critical lateral size. This beamline can longer more meet the requirement for x-ray nano lithography and has to be modified to fit the purpose. To upgrade the design of the 3B1A beamline for x-ray nano lithography, a mirror is used to reflect and scan the x-ray beam for the nano lithography station, but the mirror's grazing angle is changed to 27.9mrad in the vertical direction, and the convex curve needs to be modified to fit the change; the tiny change of mirror scanning angle is firstly considered to improve the uniformity of the x-ray spot on the wafer by controlling the convex curve. 相似文献
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用北京同步辐射489A-VUV束线作为连续光源测定了GGG:Nd~(3+)晶体的短波吸收光谱。用束线4B9A-WX作为光源激发GGG:Nd~(3+),测定了它的XEOL(X-ray excited optical luminescence)。 相似文献
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在分子坐标系中光电子角度分布(MFPADs)的层次上,对D2分子用SOLEIL的真空紫外同步辐射圆偏振光诱发的共振和非共振光电离进行了比较研究. 采用结合了成像与飞行时间分辨的电子离子符合技术的矢量相关方法,以及用于表示MFPADs的强度I(χ,θe, φe)的通用形式. 其中χ是分子轴与光量子化方向之间的夹角,(θe,φe)是分子坐标系中电子的发射方向. 研究了D2分子在双光子激发能量下的解离光电离(DPI),在hⅴ=19 eV下直接光电离是唯一通道的情况,以及在hⅴ=32.5 eV对应于Q1和Q2双激 相似文献
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