晶片传输系统中切边探测和预对准技术

介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。     

硅片传输中的预对准方法

本文叙述了硅片自动传输中片子位置精度的预对准方法。并汇集了常见的具有代表性的十几种典型的预对准结构,介绍了其实现的途径和特点。     

亚微米接触式X射线曝光对准系统

介绍了接触式X射线曝光对准系统的设计原理,对其关键部分（精密调整台、微位移控制、对准光学系统等）做了详细阐述,并进行了系统的精度分析。     

一种高精度基片预对准机构

主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析     

光刻设备中硅片预对准的算法模型分析

分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。     

Nikon光刻机对准系统概述及模型分析

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机（Stepper）的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式：LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。     

X射线光刻对准系统图像增强技术和对准标记研究

作为微细加工技术之一的高分辨率光刻技术--同步辐射X射线光刻(XRL)可应用于100nm及100nm节点以下分辨率光刻,高精度对准技术对XRL至关重要,直接影响到后续器件的生产质量。目前国内的XRL对准系统主要采用CCD相机和显微物镜采集图像,经过计算机图像处理程序进行自动对准;图像边缘分辨是图像处理部分的关键,直接决定了对准精度。针对3种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的研究,并且初步设计了几种对准标记。     

采用晶圆传送机器人的晶圆预对准方法

针对传统的晶圆预对准控制系统成本高和体积大的不足,设计了基于晶圆传送机器人的晶圆预对准装置,并提出了高效、高精度的晶圆圆心和缺口定位算法。采用交换吸附的方式通过预对准装置一维旋转和晶圆传送机器人空间平移实现晶圆预对准。误差分析及预对准实验研究结果表明,晶圆圆心的定位精度＜50 ,预对准时间为10 s,满足设计要求。     

分步投影光刻机对准系统应用与研究

分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成。当工作台上的基准标记运行到投影镜头下面时,通过掩模对准系统在预定范围内扫描测量标记位置值。当工作台上的基准标记或硅片上的标记运行到离轴对准系统测量光束下面时,用系统扫描可以测量出标记的坐标值。即可通过测量值计算出每个曝光场的中心坐标值。通过EGA对准数据,可计算出硅片的平移偏移量、旋转量、比例量和正交性量的补偿值。     

系统误差校正中的时间对准问题研究

在雷达组网系统中，为了能迅速而准确地进行误差校正，必须对用于误差校正的数据进行快捷而有效的空时对准。提出在单目标和多目标情况下的时间对准方法，并用最小二乘法对时间对准后的雷达数据进行误差校正仿真，实验结果证明了该算法的有效性。     

半导体硅片键合:MEMS制造工序中的成熟技术

新型MEMS应用领域的发展为现有的制造技术带来了很大的挑战,并促使了满足新加工要求的制造能力的发展。根据目前MEMS制造中普遍采用的不同的晶圆键合方法及其主要工艺参数要求,开发了一种新型的晶圆键合技术。     

0.8～1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制

传输片、预对准、调平及预调焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分 ,其精度和运行可靠性对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产生重大影响。介绍了 0 8～ 1 μm分步重复投影光刻机传输片、预对准、调平及预调焦控制系统的组成及控制软件 ;分析了预对准、机械手上片、调平及预调焦的精度和运行可靠性 ,并给出了研制结果。     

晶片映射系统原理及实现算法研究

介绍了晶片映射系统及其原理。该系统修正了机械手采用传统方式自动取片时执行效率低、料片状态无纠错功能的弊端,并详细论述了该系统的实现细节及算法。     

基于激光轮廓仪的非接触式钢轨廓形检测系统

传统钢轨廓形几何尺寸测量多以手工测量为主,基于激光轮廓仪的高精度廓形检测系统的应用可解决手工测量效率低、误差大的问题。新补充利用中值滤波法对激光轮廓仪采集到的廓形数据进行预处理;通过坐标平移和坐标旋转将坐标系归一化;然后通过二次拟合选择合适的特征点对廓形拼接匹配。经现场测试,钢轨廓形尺寸的重复测量误差小于0.1 mm,绝对测量精度最高可达0.014 mm,满足国家标准对钢轨廓形检测精度的需要,说明该方法有效提高了钢轨的检测效率。     

剖析远程控制免杀DLL木马

木马是一类具有隐藏性、自发性的恶意程序,目的多为控制用户电脑以窃取信息。首先简单介绍了木马程序的设计原理和木马的主要工作流程,木马客户端和服务端之间的通信过程。在此基础之上,介绍了几种目前主流的木马免杀技术,主要包括特征免杀、加花指令免杀、加壳免杀及内存免杀等。然后介绍了利用远程线程注入的方法进行木马注入DLL程序,从而达到木马进程隐藏的目的。最后综述了木马防治的基本方法。     

强流氧离子注入机装卸片控制系统

介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。     

亚微米电子束曝光机自动输片控制系统研制

概略地介绍了在电子束曝光机上使用的自动输片系统的要求及其组成;较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计;最后给出了运行和检测结果。     

DJ-801硅片倒角机控制系统设计及实现

随着数字化技术在诸多领域的迅猛发展,使得控制技术的发展更趋于数字化,对复杂设备的控制便显得尤为明显,针对DJ-801硅片倒角机控制系统,阐述了其具体控制方式及实现方法。     

灯光控制系统泛播技术应用研究

本文首先对灯光控制系统发展趋势进行展望,其次对目前灯光控制系统数据传输策略的优缺点进行剖析,进而分析了泛播技术应用在灯光系统中的优势和劣势,最后得出结论:联合使用广播、单播、组播以及泛播来传输数据,能有效解决灯光控制系统带宽利用率低和数据传输可靠性差等问题.分析结果表明,将泛播技术引入网络灯光控制系统,能够提高数据传输的可靠性,同时也实现了网络带宽的有效利用,有着广阔的前景.