分步重复精缩照相装置

<正> 据 GCA/Bnrlington Division 公司报道,该公司研制出的“4500型片子分步机”可制作提高 DSW 片子步进机生产率和减小图形发生器工作量的“组合图形”。4500型片子分步机用1倍的单元图形制作出供 DSW 使用的“组合图形”。据称通过一倍的放大,该装置在整个90毫微米的象场直径上可制作出20毫微米乃至更     

在硅片上分步重复成象

分步重复成象工艺中,一个重要的因素就是照明。本文提出了适用于此工艺的照明系统准则及其结构。新照明器——证明在设计上的成功——在10毫米×10毫米的面积上,可得到高均匀性的,超过300毫瓦/厘米~2的曝光能量,使得曝光时间缩短到足以直接在硅片上进行分步重复的程度。在硅片上对正性和负性光致抗蚀剂所分步出的图象作了讨论。由光学照相和扫描电子显微镜方法得到的数据证明:在分辨率、元件布局、光致抗蚀剂厚度和类型方面,对直接在硅片上曝光的光源来说,都具有潜在的好处。也对未经氮气清洗而曝光的负性光致抗蚀剂及驻波效应作了探讨。     

分步重复缩小投影曝光技术在SAW器件制版工艺中的应用

分步重复缩小投影曝光技术是一种采用现有的光学镜头,通过“分而治之”,达到以较细线条覆盖较大面积的手段.本文介绍采用这项技术制作出的几种SAW高频器件掩模,用它刻出的器件,获得了良好的性能.     

光栅位移测量技术在电感生产中的应用

阐述了如何利用光栅精密测量的特性，实现电感生产过程中送线长度的测量与控制，采用了脉冲辨向及四倍频电路以实现信号方向识别和提高测量精度。     

光栅位移测量技术在精密线束加工中的应用

为了提高精密线束的产品品质,设计开发了一套用于精密线束生产中的对电子线自动测量系统.该系统运用了光栅测量技术的相关原理,使用了成本较低而性能较好的缩微光栅传感器对原来的线束测量系统进行了改进,该系统现在可以对电子线进行自动测量与裁切.其直线运动位置精度检测的结果是Cp=2.41和Cpk=2.24,由此可见,该系统精度高,稳定性好,而且光栅本身不接触、无磨损,对提升质量非常有用,满足了工厂的需求.     

国产匀胶铬版的分步重复照相应用

通常,半导体器件制造中制版工艺的分步重复照相都是在高分辨率乳胶版上进行的。然后以此为原版进行复印来制造光刻掩模版。若大批量生产某品种的掩模,则先从原版上印得“母版”,再从“母版”上印制工作掩模。可以想像经过这样两次复印,掩模的缺陷会有所增加,精度也会下降。显然,缩短工艺流程,减少复印次数是提高工作掩模质量十分重要的措施。那么,直接在匀胶铬版上分步重复“母版”或工作掩模将是比较理想的。 根据我们多年的试验,这种分步重复照相可以用负性光致抗蚀剂,也可以用正性光致抗蚀剂来实现,而获得图形的边缘以后者为好。用这种方法制得的“母版”或工作掩模因为是铬版或氧化铬版,其耐磨性较乳胶版要好得     

DMD芯片在光栅投影三维轮廓测量技术中的应用

光栅投影成像法经常用于物体的非接触形状测量和形变测量。通过莫尔相移法,可以实时获得物体表面的等高轮廓线。但是在测量高速运动物体三维轮廓图像时误差较大,因为相移法需要拍摄几张经过相移后的变形光栅。在加入了DMD芯片后,可以在CCD的一帧图像时间内完成所有的相移后变形光栅的图像拍摄,有效地降低了高速运动物体三维轮廓成像的误差。     

变频技术在码垛机上的应用

本文通过变频器的硬件配置和软件流程图工作过程讲述了变频技术在码垛机上的应用,并对变频器有一定的介绍。     

旋转光栅在激光多普勒测量中的应用

在激光多普勒测量的仪器中,常常需要将其中一束激光进行频率调制,以达到频率偏移的目的。通常是采用布拉格盒(即声光调制盒)来完成这一工作。但布拉格盒连同电激励装置价格昂贵,且只能工作于高频(一般高于40兆赫)。而且,采用布拉格盒需要精确的光学调整精度。本文介绍用旋转光栅进行分束并产生频移     

在数控机床中光栅测量装置的应用分析

随着我国数控机床的不断发展和壮大,我国的机床逐渐走向了高端、精细化行业,所以生产过程中的测量问题成了至关重要的一步,文章针对当前测量装置的现有技术,分布探讨了机床中的光栅测量的装置,重点对测量装置的应用和测量装置的维护两个方面做了比较详细的分析和研究。     

高密度组装技术在信号处理机上的应用

高密度电子组装技术是实现机载、舰载和星载等电子装备向小型化、轻量化、高性能和高可靠方向发展的有效途径.文中通过对高密度组装技术在信号处理机上的应用研究分析,叙述了板级电路高密度组装技术的概念、研究内容和关键技术,明确指出可制造性设计、高精度印刷、贴装以及优化的焊接温度曲线的设置是板级电路高密度组装技术的有效手段.研究成果已成功地应用在雷达信号处理机、接收/发射组件等分系统中.     

变频调速技术在粗纱机上的应用

本文主要介绍了变频调速技术在粗纱机上的应用概况，论述了粗纱机采用4电机传动的效果。介绍了粗纱机控制系统原理框图以及共直流母线的变频渊速。     

交流变频技术在桥机上的应用

本文主要介绍了ABB交流变频技术先进的调速性能以及在桥机上的实际应用和设计思路。     

变频调速技术在抽油机上的应用

在抽油机上应用变频调速技术,不但可以提高泵效,提高泵的充满系数,而且可以节约电能,降低劳动强度,延长机组、电气、机械等方面的运转寿命。     

变频调速技术在注塑机上的应用

本文对应用于注塑机上的变频调速技术节能原理作了分析，介绍了使用中的一些关键技术，指出注塑机上使用的变频调速需进一步解决的几个问题，并举例说明了变频调速技术应用于注塑机上具有显著的节能效果及提高系统性能的优越性。     

语音技术在塔台模拟机上的应用

基于空管模拟训练机对空管人员训练的重要性和优越性以及塔席特点,利用计算机实现飞行器动态特征的场景再现,设定多场景、多任务的训练科目是目前采用的普遍做法。文章依托塔台模拟机性能特点,采用有限词汇量识别方法,结合空管发音规则、语法结构、发音标准以及中英双语等特点,采用动态时间归正识别技术和语音同步叠加算法实现语音编码、识别与合成,实现了多局部最优化决策。     

变频调速技术在粗纱机上的应用

本文主要介绍了变频调速技术在传统粗纱机智新型粗纱机中的应用概况，并论述了粗沙机采用四电机分部传动的效果。     

光栅楔形平板及其在转角测量中的应用

在楔形玻璃平板表面加工闪耀光栅，即构成了光栅楔形平板，本文详细介绍了其工作原理，将该光栅楔形平板用于双频激光干涉转角测量中，不仅简化了测量装置，减小了干涉仪的尺寸，而且装调方便，实验表明，其测量小角度分辨力优于0.1″/测量整周角度的重复性误差小于5%。     

光纤光栅传感器在爆炸冲击测量中的应用

光纤光栅传感器(FBG)在侵彻及爆炸冲击测试技术中拥有广泛的应用前景。介绍了光纤光栅传感器的检测原理与关键技术,分析了光纤光栅传感器的动态响应时间及对于高频振动时的可测频率。与传统的爆炸冲击测量方法相比,光纤光栅传感器精度高,抗电磁干扰能力强,体积小,可实现分布式测量,在爆炸冲击领域拥有广泛的应用前景。限于光纤光栅解调技术即采样率发展的限制,光纤光栅传感器在爆炸冲击领域的应用处于起步阶段。介绍了光纤光栅传感器在霍普金森压杆上的应用。提出了当前急需解决的技术问题。     

光栅传感器在位移自动测量系统中的应用

一种以单片机为核心的位移自动测量系统,采用光栅传感器把被测位移量转变为电信号,经前置放大和电路处理后,送入8031单片机进行综合运算处理后输出,并通过LED显示。介绍了整体电路的设计和单片机系统的硬件及软件流程。