LK—2型离子束刻蚀机

该机为电子工业部四十八研究所最近研制成功的新产品,构思新颖,结构紧凑,技术性能先进,并兼有立式、卧式两种加工方式。主要性能指标离子束有效束径:φ80毫米和φ40毫米两种。束流能量:100～1000ev连续可调。束流密度:0.2～1.0毫安/厘米~2。束流密度均匀性:有效束径内≤±5％。束流稳定性:一小时内≤±2％。真空度:极限真空≤5×10~(-6)托。工作真空≤3×10~(-4)托。     

偏硼酸钡热电探测器研究

本文首次报导用低温相偏硼酸钡晶体做成热电探测器,并对其性能进行了测试。结果表明:低温相偏硼酸钡热电探测器具有耐高功率辐射性能、中等探测率、宽光谱响应、介电常数小等特点,是一种大功率运用的较理想的热电探测器。器件灵敏面为φ1.5mm时,探测率D~*(500,80.1)=2×10~7cmHz~(1/2)W~(-1)。等效噪声功率NEP(500,80,2.7)=7.1×10~(-9)W。器件灵敏面为φ4及φ2mm时,采用金属衬底,在自然冷却条件下,用CO_2连续激光进行刀口调制后照射器件,器件可耐平均功率密度67W/cm~2、峰值功率密度168W/cm~2。损伤阈值为120W/cm~2(连续CO_2激光照射)。     

波长1.05微米和1.32微米的连续La_(0.1)Nd_(0.9)P_5O_(14)激光器

采用Ar~+离子激光器作为泵浦源实现了NdPP晶体的1.051微米和1.32微米的室温连续运转;采用准半共心腔获得低阈值运转.最低阈值吸收功率1毫瓦,最大输出功率达2毫瓦.由激光特性研究得到的受激发射截面σ_(1.051μ)=1.1×10~(19)厘米~2,σ_(1.32μ)=2.2×10~(-20)厘米~2.还研究了激光弛豫振荡现象,给出弛豫振荡频率与泵浦功率超阈值比的关系曲线;计算了不同输出功率时阈值泵浦功率密度与晶体长度的关系曲线.     

掺钕钆钪铝石榴石的生长、光学特性和连续激光作用

研究了由Gd_3Sc_2Al_3O_(12)(GADSCAG)组成的一致熔融稀土铝石榴石。对不掺杂材料沿<111>方向的理想晶体生长参数为转速20转/分,生长速率4.6毫米/小时。掺钕晶体的线性生长速率为2毫米/小时。测定了Nd:GADSCAG与激光作用有关的光学特性。室温下Nd~(3 )的1.06微米受激发射跃迁横截面为(3.2±0.3)×10~(-19)厘米~2,晶体中Nd~(3 )离子密度为1(原子)％时的荧光寿命为256±8微秒。最强泵浦带(0.81微米)的积分峰值吸收横截面为3.8×10~(-19)厘米~。对相同的Nd∶YAG和Nd∶GADSCAG棒的连续激光性能做了比较。     

色心激光材料——掺杂KCl单晶的研制

用引上法生长了掺锂KCl色心激光晶体,获得尺寸为φ25×100毫米的单晶,晶体中锂原子的含量可控制在10~(-3)～10~(-2)％(重量比)之间。测定了三种掺杂KCl单晶X-射线辐照后的吸收光谱。     

高温焦平面用光伏Hg_(1-x)Cd_xTe技术

Hg_(1-xCdxTe)光电二极管技术的最近进展是提高了整个1～20微米光谱段高温的探测器灵敏度。对1～3微米辐射灵敏的短波长光电二极管,室温蜂值探测率是在4×10~(11)和8 × 10~8厘米赫1/2/瓦之间,视峰值波长而定。对3～5微米辐射灵敏的中等波长光电二极管,在193K和130K温度下的峰值探测率分别为1×10~(11)和1 ×10~(12)厘米赫1/2/瓦。对12微米辐射灵敏的长波长光电二极管,其峰值探测率在65K时为5×10~(10)厘米赫1/2/瓦,在10K时为5×10(11) 厘米赫1/2/瓦。     

质子轰击条型GaAlAs激光器的温度特性

研究和分析了温度对GaAIAs DH激光器电光参数的静态和动态特性及工作寿命的影响。实验结果表明:在-40℃～ 40℃范围内,随着温度的升高,激光器串联电阻下降率9.6×10~(-3)欧姆/℃,阈值电流变化率0.54mA/℃,激光峰值波长向长波漂移率2.78(?)/℃,外微分量子效率保持不变;在20～70℃范围内,阈值温度系数I_(th)(70℃)/I_(th)(20℃)约1.3,特征温度T_o约202℃,外微分量子效率不变。最高连续工作环境温度可达150℃。阈值电流变化率低的激光器,外推室温连续工作寿命8×10~4小时以上还相当稳定。本文还研究了自脉动和功率扭析现象等。     

Hg~ 离子注入Hg_(1-x)Cd_x Te光伏探测器的进展

本文报导Hg~ 离子注入Hg_(1-x)Cd_xTe 光伏探测器最新的一些结果。经过挑选的二极管,在77°K 和降低背景条件下(即视场角=60°),测得3.7、8和10.1微米处峰值探测率分别等于2.8×10~(11),5.9×10~(10)和4×10~(10)厘米·赫~(1/2)·瓦~(-1),而量子效率均超过90%。1.2×10~(-3)厘米~2的探测器,在5微米处观察到零偏压电阻与面积的乘积高于10~4欧·厘米~2,在9.5微米处高于24欧·厘米~2。电容—电压测量指出,结是突变的,在强的反向偏压下出现反常效应。面积为3×10~(-4)厘米~2的二极管,响应时问是1毫微秒。     

平面型Pb_(0.8)Sn(0.2)Te光电二极管研制工作

在经过退火处理、载流子浓度为2×10~(17)厘米~(-3)、迁移率为2.3×10~4厘米~2·伏叫~(-1)·秒~(-1)叫的块状Pb_(0.8)Sn_(0.2)Te 材料上,通过蒸发厚度为几百埃的铟层,然后再经温度在100—200℃范围的短时间热处理,已制成了在77°K 工作、敏感红外辐射达11微米的平面光电二极管列阵。用这种工艺所制成的光电二极管具有峰值探测率2×10~(10)厘米·赫~(1/2)·瓦~(-1),其结面积与零偏压电阻的乘积为0.8欧姆·厘米~2,量子效率为45%。本文介绍器件的特性及制备详情。     

大尺寸TGG晶体生长与性能研究

铽镓石榴石(Tb_3Ga_5O_(12),TGG)晶体具有大的Verdet常数、低的透射损耗、高的热导率及高的激光损伤阈值,是制作高功率全固态激光器中法拉第隔离器的最佳磁光材料。采用自主研发的JGD-800型上称重自动提拉炉,成功生长出φ53mm×80mm,外观完整,无开裂、无螺旋的TGG晶体。加工了用于高功率隔离器、尺寸为φ40mm×30mm的TGG样品,通过可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率约为80.6%;测试晶体的室温热导率为4.566 W/(m·K),其热导率随温度升高而下降。热膨胀测试结果表明,在26.5~200℃时,热膨胀系数为-2.682 0×10-6 K~(-1);在200~500℃时,热膨胀系数为15.090 4×10~(-6) K~(-1)。通过正交消光法测试1 064nm波长晶体的Verdet常数为39.9rad/(mT);经ZYGO干涉仪测试晶体的光学均匀性为4.3×10~(-6),透射波前为λ/5(波长λ=632.8nm);采用波长1 064nm,10Hz、9ns激光测试晶体的激光损伤阈值为3.5GW/cm~2。结果表明,本实验方法生长的大尺寸TGG晶体质量较好,在高功率全固态激光器领域中具有广泛的应用前景。     

国外简讯

美Eltec仪器公司制造的钽酸锂探测器(404型)面积φ2毫米,灵敏波段2～15微米,D~＊1.7×10~8厘米赫~(1/2)瓦~(-1),可用三种方式工作:1)探测器,2)探测器接电压型放大器,3)探测器接高增益电流型放大器。标准器件用锗窗,为To-99管壳,元件和外壳电浮置,内部接单独针脚,价格达245美元。     

Nd∶YLF 连续激光器

本文首次报导Nd:YLF连续激光的运转。与Nd:YAG激光器相比,这种激光器具有阈值低,单模平均功率高的优点。Nd:YLF的TEM_(00)模体积比Nd:YAG大3倍,因而TEM_(00)模的平均功率大一倍。这是由于YLF具有相对于YAG的较小的热透镜效应。经过比较测量获得:Nd:YLF的受激发射截面在π振荡时为1.8×10~(-19)cm~2,对于σ振荡则为1.2×10~(-19)cm~2,而Nd:YAC,则为2.4×10~(-19)cm~2。Nd:YLF的光谱和激光作用参数表明,这种材料具有在高峰值及平均功率的Q开关应用的潜力。     

钽酸锂热电探测器

美国ELTEC公司制成了406和408两种型号、价格低性能高的钽酸锂热电探测器。 406型探测器和放大器一起装在TO-5晶体管外壳里,用锗窗,带有电压放大器,可以把高阻抗信号转换成低阻抗信号。灵敏面:φ2毫米; 标准锗窗型:带宽为2～15微米,电压灵敏度:275伏/瓦,NEP(10.6微米、10赫、1赫带宽):8×10~(-10)瓦/赫~(1/2),D(10.6微米、10赫、1赫带宽):2.2×10~8厘米赫~(1/2)/瓦镀增透膜锗窗(10.6微米)型:带宽为2～15微米,电压灵敏度:425伏/瓦,NEP     

由外延砷化镓获得高峰值功率限累工作

采用稳态温度梯度技术的镓溶液外延已成功地用于生长高质量的150微米厚的砷化镓层,其电子浓度的变化小于5%。使用激光探针的光电导方法精确地测量电子浓度的相对变化。用电子浓度为1.5～2×10~(15)厘米~(-3)的这种外延层,测量了在 X 波段和 K_u 波段的限累振荡,其峰值功率达400瓦,效率高于10%。带有一个阶梯脊波导阻抗变换器的小窗孔电路,输出 X 和K_u 波段的基频限累振荡。在某些二极管中观察到高达20倍阈值的工作偏置电平。解释了与有源层交界处的衬底(或接触)层电导率和有源层趋肤深度对于效率和防止雪崩击穿的重要性。证明和讨论了频率随偏压和温度的调谐。     

图片介绍

7用Therm Atrace红外行扫描仪进行单行扫描。(详见本期第72页) Eltec仪器公司生产的钽酸锂器件—前放组件,响应率10万伏/瓦,D~*3.5×10~8厘米赫~1、2瓦~(-1),404CM型器件装T0-99外壳,内有电流型放大器和5×10~(11)欧反馈电阻,响应波长0.2～20微米(无窗);2毫米探测器可用Ge、兰宝石、石英或硅标准窗,     

Pt—WO3薄膜气敏传感器的气敏性能研究

用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜,进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析,研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响。实验证明:当Pt膜厚为4 nm时,WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善,对φ(NO2)=5×10-6和φ(NH3)=10×10-6的工作温度均降低了50℃,灵敏度分别达到11.5和900,是纯WO3薄膜的2~3倍,且响应时间缩短。     

Sb~ 离子注入Pb_(0.97)Hg_(0.03)Te光伏探测器

用Sb~ 离子注入制备了p型Pb_(1-x) Hg_x Te p-n结光伏探测器。在295K时,用布里奇曼法生长的Pb_(0.97)Hg_(0.03)Te晶体的比电阻为0.01欧·厘米。研究了在77K和295K时的电流-电压特性和光谱响应。在77K时,表面为7.8×10~(-3)厘米~2的二极管的零偏压电阻面积乘积为228欧·厘米~2。在295K时,峰值探测度是在3.2微米处,截止波长在～3.9微米。在77K,视场为30°,背景为295K时,出现在4.95微米处的峰值探测度为1.14×10~(11)厘米赫~(1/2)瓦~(-1)。峰值量子效率约为30％,截止波长为～5.4微米。     

φ20×200毫米Nd~( 3):YAG晶体的生长

我们于今年上半年使用 ZFLO17JS 单晶炉,石墨加热方式,φ70×37钼片冲压成型坩埚(坩埚厚度为0.3毫米)和 DWT-702控温仪,进行了拉制φ20×200毫米 Nd~( 3):YAG 晶体的实验,拉出了晶体。     

亚毫微秒GaAlAs双异质结激光器

当双异质结连续激光器加上大于阈值的阶跃脉冲时,激光器的光脉冲前沿便产生张驰振荡,振荡频率f_r为:f_r=1/(2π)[1/τ_(ph)τ_s(I/I_(th)-1)-I~2/(4τ_s~2I_(th)~2)]~(1/2)式中I为注入激光器的峰值电流;I_(th)为阈值电流;τ_(ph)为光子寿命;τ_s为载流子自发复合寿命.当I/I_(th)=2,τ_s=2毫微秒,τ_(ph)=1.2微微秒时,f_r=4千兆周;当I/I_(th)更大时,f_r更高.我们用一个峰值电流     

汞离子注入的8～14微米Hg_(1-x)Cd_xTe红外光伏探测器

将Hg注入到Hg_(1-x)Cd_xTe中,制成2～14微米带的p-n结光伏探测器。在上述整个波长范围内都已制得了高灵敏度光电二极管。最有意义的是在8～14微米范围内的那些结果。其峰值探测度优于10~(10)厘米赫~(1/2)瓦~(-1),零偏压电阻与面积的乘积在2.4～0.12欧厘米~2之间,比响应率在1.2×10~4和5×10~2伏瓦~(-1)之间,量子效率在65％和45％间。