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本文对准直激光束检测非球面方法进行了研究。它不用接触被检件表面,同时也无须处理干涉条纹。测量时只要保证激光细束保持一致的入射方向扫描被检表面,用CCD光电探测器检出面形的斜率变化,而后在扫描范围内积分便能获得面形高度。本文以测量光学系统中用于波面补偿目的的旋转对称镜面为例对测量系统进行分析。该系统不仅可以进行一维测量,通过转台旋转亦可进行二维测量,通过面形重构获得三维的被测体面形。给出了三维面形重构方法,并编制数据处理软件,可以把测量数据处理成高度曲线或三维面形。 相似文献
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非球面镜片面形检测技术综述 总被引:1,自引:1,他引:1
非球面镜片的应用越来越广泛,面形误差是影响非球面质量的重要指标,所采用的面形检测方法非常重要。介绍了非球面镜片面形误差的各种检测方法,并对各种检测方法进行了比较。最后,对非球面镜片面形检测技术的发展趋势作出了预测。 相似文献
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提出一种新型非球面加工技术——弹性变形面形复制加工技术,该技术综合利用光学玻璃材料的线弹性特性以及面形复制加工机理,将复杂的非球面加工转变为简易的平面加工,适合加工薄型大曲率半径非球面。阐述弹性变形面形复制加工技术的基本机理,随后以直径为40 mm、顶点曲率半径为2 500 mm的抛物面作为目标面形,通过有限元仿真确定使工件与靠模紧密贴合所需的工件最小去除厚度,建立加工过程的材料去除模型,并由此确定加工时间。在所搭建的弹性变形面形复制加工系统上进行加工试验,试验结果证明所建立材料去除模型有效。最终工件加工面形精度为PV 0.62 μm。对加工面形精度影响因素进行分析,并提出改进工件加工面形精度的措施。 相似文献
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对基于以正弦投影光场为结构光的位相轮廓测量求提出一种改进方案。该方案只需获得相应于投影光场相程分别为—α,0,+α时的3帧变形光场强度值,即可计算面形数据。它对提高测量精度、测量违反、成像分辨率带来有利和方便。文中还提出一种用来产生正弦投影光场及实现离散相移的高稳定性干涉仪。 相似文献
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使用红外干涉仪测量非球面面形 总被引:3,自引:3,他引:0
提出用红外干涉仪在长波工作(λ=10.6μm)的优点检测非球面面形。首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程计算出非球面与标准拟合球面之间波像差的理论值,通过比较这两个值,计算出非球面的面形偏差。实验结果表明,使用红外干涉仪测量的非球面与标准拟合球面之间的波像差为8.64μm(PV),与理论波像差(8.11μm)比较接近,测得非球面面形偏差为1.20μm(PV)。为了验证这一方法的准确性,使用计算全息图(CGH)作为补偿镜在可见光干涉仪上测量了同一块非球面,两者测量结果比较吻合。结果表明,此方法有比较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的测试。 相似文献
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双光源光切法三维轮廓测量的误差分析 总被引:6,自引:2,他引:6
本文介绍了光切三维轮廓测量系统的原理和结构,并对其测量精度进行了详细的分析,得出了量化环节和旋转环节为测量的主要误差源的结论。最后,给出了本系统与三坐标测量机的测量结果比较和进一步提高精度的措施 相似文献
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三维测量获得的点云数据一般须进行去噪处理以保证重构曲面的精度,光学三维测量中这些噪点主要是由阴影形成的,因此阴影去除的效果直接影响到反求工程的效率和精度.采用基于Gray-code投影的方法实现三维面型测量,根据Gray-code唯一、有序的特点,在测量过程中进行阴影处理,可以有效地去除阴影,从而去除测量结果中的噪点.该方法可以避免噪声,保证点云数据的准确性,为后续的曲面重构提供便利,在反求工程中具有重要的实用价值. 相似文献
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提出一种将阴影莫尔条纹法与相位测量技术相结合的物体表面三维轮廓测量方法 ,该方法利用电磁铁和精密机械部件对光栅进行定位控制以实现精确相移 ,并采用三步相移技术对CCD摄像机采集的物体表面形貌莫尔条纹进行相位解调 ,可有效实现物体表面三维轮廓的高速、高精度自动测量。 相似文献
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可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP) 总被引:1,自引:0,他引:1
本文在简要地分析了傅立叶变换轮廓法(FTP)和改进型傅立叶变换轮廓法(IFTP)测量三维物体形状轮廓的可测陡峭度限制后,提出了一种可测量大陡峭度物体的傅立叶变换轮廓法(MFTP),给出了详细的测量方法和理论分析。利用FTP自身的特点,消除了IFTP引入的人为误差,提高了FTP的能测陡峭度。 相似文献
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用构造光系统实现3-D形貌测量的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了一个用构造空间二进制编码进行非接触3-D形貌测量的系统。它以一台LCD投影仪为硬件基础,用8幅条纹投影图案对被测物体表面进行空间编码。用CCD摄像机获取物体编码信息,用基于单一像素的三角法原理从摄像机图像中获取三维形貌数据。指出了二进制编码图案生成软件及其生成的条纹图案的特点。为了提高3-D形貌测量的精度,分析了由摄像机和投影仪镜头造成的误差,建立了它们的透镜误差矫正公式,并取得了良好的实验结果。 相似文献
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一种基于自动对焦的非球面测量系统 总被引:1,自引:0,他引:1
影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数,而且取决于制造系统所采用的测试手段和所能达到的测量精度.针对非球面制造系统的测量特点,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节,进而提高对非球面工件的测量精度,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题. 相似文献
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