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相似文献
 共查询到18条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
在化学研究领域,声表面波器件得到了越来越多的注目.声表面波延迟线振荡器的振荡频率对沉积在其表面的薄膜层非常敏感,选择适当的气体吸附材料涂覆在器件的表面,声表面波延迟线振荡器就可用于制成十分敏感的气体传感器。当涂覆层性能优良时,传感器可检测出浓度为0.01—0.1ppm水平的特定气体成份。  相似文献   

2.
首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器对有机气体检测的新方法。  相似文献   

3.
4.
SO2气体传感器的新进展   总被引:6,自引:0,他引:6  
主要介绍了国内外当前SO2气体传感器的研究现状及其发展趋势,并着重介绍了声表面波(SAW)SO2气体传感器的应用前景。  相似文献   

5.
集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。  相似文献   

6.
讨论了在SAW气体的传感器中把化学信号(气体浓度)转换成物理信号(SAW相速度变化)的机制以及将它们彼此分离开来的方法.  相似文献   

7.
主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2 气体传感器的应用前景  相似文献   

8.
本文研究了声表面波醋酸气体传感器的气敏特性。选用了复合膜材料,性能稳定响应时间20秒,灵敏度高,膜材料受溶剂的干扰小,选择性好。  相似文献   

9.
声表面波气体传感器的最终成功既取决于化学界面膜的性能,也取决于声表面波器件设计的最佳化。给出了声表面波气体传感器的设计考虑。  相似文献   

10.
声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注.本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展.  相似文献   

11.
本文设计的SAW气体传感器电路引人预偏置技术解决了SAW传感器对微量气体测试存在盲区的问题。同时,对电路进行调整避免了频率的跳变。整个测试系统结构简单,经实测表明具有较高精度,满足气体传感检测的需要。  相似文献   

12.
通过测试某厂生产的SnO2系烧结型旁热式气敏元件在不同加热条件下空气中的阻值,分析了大量数据,总结出正常条件下元件阻值Ra随加热电流IH(电压VH)变化规律,给出经验公式,以利于获得最佳工艺条件。  相似文献   

13.
钙钛矿型复合氧化物氢离子导体气体传感器的研究现状   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了钙钛矿型复合氧化物氢离子导体概况,重点阐述了氢传感器、水蒸汽传感器以及新型气体传感器的研究现状和存在的问题。  相似文献   

14.
表面处理对气敏元件特性的影响   总被引:4,自引:0,他引:4  
利用表面修饰技术,通过不同气氛、溶液处理气敏元件表面,提高了元件的灵敏度,改善了选择特性.  相似文献   

15.
讨论了典型的平面叉指电极Langmuir-Blodgett(LB)膜气体传感器的气体响应特性,分析了影响气体响应特性的主要因素.分析计算结果指出,对于给定大小的基片,在工艺许可的条件下,可减小电极间距来增大测量电流.  相似文献   

16.
抑制气敏元件零点漂移的实用电路   总被引:1,自引:1,他引:1  
一种利用闭环控制电路抑制气敏元件零点漂移的设计思想、原理框图及实验结果。该电路适用于起始阻值漂移,而灵敏度基本不变的气敏元件,可大大提高此类元件的稳定性与准确性。  相似文献   

17.
气敏元件参数智能测试系统的研制   总被引:1,自引:1,他引:0  
介绍了一种能测试α- Fe2O3 气敏元件参数的智能测试系统。该测试系统采用上、下位机串行通讯网络结构,对多个试验箱进行监控。并对测试系统的结构、工作原理和检测系统进行了论述。  相似文献   

18.
几种常见气体传感器的研究进展   总被引:10,自引:0,他引:10  
气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛.简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望.  相似文献   

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