将MEMS传感器用于各种创新的消费类电子产品设计

MEMS即微机电系统，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。     

MEMS微推进技术的研究

空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件．随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现，对空间推进技术提出了更高的要求．在综述国内外微推进技术的基础上，着重介绍研制的微型数字式MEMS阵列推进器的总体结构设计、推进剂的选择与性能研究、推进阵列的MEMS加工和封装工艺研究等。     

MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用.对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co82.4Ni11.9Mn0.4P5.3永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=208790A/m,Br=0.2T,(BH)max=10.15kJ/m3,且脆性小、内应力较低.进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致.在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列.     

基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究

针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求.     

基于MEMS技术的微型DMFC阳极流场结构的设计与研究

流场结构对微型直接甲醇燃料电池(μDMFC)的性能有着重要的影响,尤其表现在影响燃料供应和温度分布上.本文运用计算流体动力学(CFD)的方法,分析和比较了双蛇形和平行流场结构中流速、温度等分布情况.模拟结果表明双蛇形流场结构比平行流场结构显示出更优的流速分布和更均匀的温度分布.采用微机电系统(MEMS)技术,在N型单晶...     

ASIC版图设计技巧

<正>0引言ASIC是专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit)的简称。ASIC设计是指根据特定用户要求或电子系统的要求,在正确择系统配置、电路形式、器件结构、工艺方案和设计规则的情况下,尽量减小芯片面积,降低设计成本,缩短设计周期,以保证全局优化,设计出满足     

MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究

在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。     

装配工艺自动化设计技术的研究

装配工艺自动化设计(计算机辅助装配工艺设计——CAAPP)的研究在国内外处于起步阶段,它对CIMS环境下开展并行工程的研究及促进工厂自动化具有重要童义。本文对此领域的技术进行了探讨性研究,文中提出了计算机辅助装配工艺设计应采取的研究方法;介绍了系统的基本结构;并对装配顺序的决策思想及方法作了较详细的分析。     

MEMS CAD系统及其关键技术研究

针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式，构建了MEMS CAD软件系统的结构，并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术，如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述，指出了各项技术的研究进展和发展方向。     

基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工

本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工。通过薄胶多次光刻在衬底上制作出氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、光刻胶(photo-resist,PR)等材料的多层掩膜图形,每层掩膜可以进行一次衬底刻蚀或腐蚀,刻蚀或腐蚀完毕后去除该层掩膜。该工艺解决了MEMS工艺中的深坑涂胶和光刻问题,结合深反应离子刻蚀(Deep Re-active Ion Etching,DR IE)、湿法腐蚀等工艺可以用于多级台阶、深坑底部精细结构、微结构释放等MEMS工艺。     

计算机辅助成组工艺设计与管理系统

介绍了计算机辅助成组工艺设计与管理系统的功能及特点 ,并讨论了系统设计中的几个关键技术问题     

直线空间角计算机辅助求解方法的研究

经空间关系分析,将三维空间角度的多种表达形式归纳为已知两方向角求一投影角,已知两投影角求一方向角,已知一方向角、一投影角求一方向角或一投影角三大类。根据画法几何原理,建立空间角计算的数学模型,并将 Visual LISP 与 Visual Basic 相结合开发空间角计算与显示系统,从而实现了空间角的计算机辅助求解,其特点是能精确、迅速和方便地解决复杂的空间角度计算问题。     

钢铁企业xBOM过程集成研究

依据钢铁行业xBOM多视域间产品特征属性的投影、替代、衍生和聚合四类关系,结合集合理论提出了基于链表的xBOM多视图可重叠、一致性映射方法.以设计BOM、工艺BOM和订单BOM作为源BOM,实现了从源BOM到其它BOM的视图转换,进而建立起面向生产制造过程的钢铁企业xBOM多视图集成应用框架模型.通过基于xBOM的产品配置和制造过程的企业应用分析,验证了其可行性和有效性.     

计算机辅助统计过程控制的设计与实现

文章通过分析实现计算机辅助统计过程控制所需要解决的几个主要问题,提出了计算机辅助统计过程控制系统的整体功能设计方案,并对系统具体功能模块和系统关键技术实现方法进行了详细介绍,最后运用实例对系统的开发做了进一步的说明.     

基于 MEMS 技术的在运弹药加速度记录仪设计

目的实时、准确获取弹药在道路运输、装卸搬运等环节中的受力状态。方法分析弹药在不同运输环节中的力学环境,确定弹药受力方式与类别。在此基础上利用MEMS技术设计一种可以测量3个不同轴向加速度的电容式微加速度计,通过理论分析和模拟仿真验证其工作原理,推导出加速度与输出信号的关系。以微加速度计为核心进行元器件选型搭配与软件方案设计,制作加速度记录仪,搭建测试平台,进行信号检测。结果该加速度记录仪能够实时检测重力加速度变化。结论利用MEMS技术制作的加速度记录仪可以实现对运弹药受力状态的实时监测。     

自适应光学系统MEMS微变形镜的研究

指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈，以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点．介绍了利用静电力驱动的平板电容式分立式微变形镜．分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能．指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题．     

计算机辅助化妆品容器设计

采用近年十分流行的图形应用软件ＡｕｔｏＣＡＤ，３ＤＳ及ｐｈｏｔｏｓｈｏｐ来实现计算机辅助化妆品容器设计。