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本文叙述了电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积(ECRPCVD)的工作原理、特点及其应用.ECRPCV D由放电室、淀积室、微波系统、磁场线圈、气路与真空系统组成.处于放电室的等离子体在磁场中做回旋运动,使电子的回旋运动频率与微波频率相同;处于回旋共振条件下的电子有效地吸收微波功率而获得高的能量,从而产生高活性和高密度的等离子体.电离度大于10%,电子密度为1013cm3.ECRPCVD可在低的气体流量、衬底不加热的情况下高速淀积高质量薄膜.以该技术淀积的Si,N4,SiO2薄膜可分别与高温CVD的Si3N4高温热氧化的SiO2相比拟.ECRPCVD淀积a-Si:H淀积速率为通常CVD的20倍,而性能与射频CVD淀积的a-Si:H相当.ECRPCVD 已成功用于淀积多种薄膜。 相似文献
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2DNMR在波谱学的化学应用中占据首要位置。本文简述了COSY,LRCOSY,COSYDEC,SECSY,DQC-COSY,RCT,INADIQUATE,RELAY,INVERSE,NOESY,HOESY,OHAHA,ROESY,HMQC,HMBC等谱的形状,指认步骤及其应用。 相似文献
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《Chinese Journal of Lasers》1997,(6)
AnalyticSubjectIndextoVolumeB6,(1997)LASERDEVICESNo.PageThetemperaturedistributioninlongitudinalypumpedTi∶sapphirelasers11Cha... 相似文献
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本文描述了金属蒸发真空弧放电的特点,阴极弧等离子体的形成过程,以及在加热蒸发电离方式相比MEVVA放电的优越性。文章还叙述了建筑的MEVVA离子源的实用参数,工作过程及MEVVA等离子体源在全方位离子注入装置中的应用。 相似文献
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金刚石膜合成条件下的鞘层与等离子体参数分布 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报导了在用热阴极直流放电等离子体化学气相沉积(通常也称EACVD.即电子辅助化学气相沉积)方法合成金刚石的条件下的等离子体密度、电子温度、等离子体空间电位分布及基片附近等离子体鞘结构,并讨论其对成膜的影响. 相似文献
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Gou Qingquan Zhang Jianping Li Ping Institude of Atomic Molecular Science at High Temperature High Pressure Sichuan Union University Chengdu China 《原子与分子物理学报》1997,(4)
THEMACQMCALCULATIONOFTHETOTALENERGYCURVEOFTHEBODY-CENTEREDCUBICSTRUCTUREOFTHEH-9CLUSTERGouQingquanZhangJianpingLiPingInstitu... 相似文献
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本文介绍的MEVVA源采用电动推进式可更换单阴极弧放电机构和加减速三栅引出系统,耐压水平在于50kV,平均束流大于5mA,束班约Ф150,束的不均匀度小于±20%。束的分布测量表明,在中心区有约Ф40的平顶区。我们已获得了Al,Ti,Cr,Fe,Ni,Cu,Y,Zr,Mo,Ta,W,C,LaB6等的离子束流及其最佳的运行条件。 相似文献
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L.Huang N.Ding G.D.Jian Southwestern Institute of Physics P.O.Box Chengdu China 《核聚变与等离子体物理》1996,(4)
TOROIDALSHEARFLOWDRIVIENINSTABILITYL.HuangN.DingG.D.JianSouthwesternInstituteofPhysics,P.O.Box432,Chengdu610041,ChinaABSTRACT... 相似文献
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Summary A volume-preserving symplectic map is proposed to describe the magnetic field lines when the Taylor equilibriumis perturbed
in a generic way. The standard scenario is observed by varying the perturbation strength, but the statistical properties in
the chaotic regions are not simple due to the presence of boundaries and remnants of invariant structures. Simpler models
of volume-preserving maps are proposed. The slowly modulated standard map captures the basic topological and statistical features.
The diffusion is analytically described for large perturbations (above the break-up of the last KAM torus) in terms of correlation
functions and for small perturbations using the adiabatic theory, provided that the modulation is sufficiently slow. 相似文献
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Matlab在PN结特性研究实验数据处理中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在pn结物理特性研究实验中,为了验证流过pn结的正向电流和加在pn结两端的正向电压满足指数关系,通常的做法是通过测量数据,选择几种函数关系,把数据代入分别验证。本文主要介绍利用matlab工具箱来处理该实验中的数据,比通常的做法简单方便且更直观,能够让实验者对该实验有深一步的认识。 相似文献
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铝-铜-镓三元系合金相图的室温截面已经用X射线方法测定出来了。室温固相截面包含11个单相(即α, γ2, γ′, δ, ζ1, ζ2, η2, θ, θ′,α铝和镓)相区,14个双相(即α + ζ1, α+ γ2, α + γ′, γ2 + γ′, γ′+ ζ1, γ2+δ, γ′+δ,δ +ζ2, ζ2+η2, η2+θ,η2+ θ′, γ′ + θ′, θ′+ 镓和θ+α铝)相区和9个三相(即α + γ′+ζ1, α+ γ2+ γ′, γ2+ γ′ + δ,γ′ + δ + θ′, δ+ζ2+θ′, ζ2 + η2 + θ′, η2+ θ′ + 镓, η2 +θ + 镓和θ +镓+ α铝)相区。所有单相和三个二元系内室温存在的单相相同,没有新相出现。
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