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正压漏孔校准装置优化设计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率. 相似文献
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为了寻找一种简易的正压漏孔校准手段,试制了一个充液式U形毛细管漏孔校准装置,并对不同漏率的正压漏孔进行了大量的实验。通过对实验数据进行分析,对校准过程中产生的测量不确定度进行了分析和评定,得到了一种简易可行的校准正压漏孔的方法。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2018,(12)
为了解决漏率小于10~(-8)Pa·m~3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10~(-10)Pa·m~3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气体引入累积室经过一段时间的累积来提高浓度,采用膨胀衰减压力和分子流进样将混合气体引入质谱分析室,提出对质谱分析室中示漏气体进行累积模式的测量方法,通过四极质谱计作为比较器分别测量漏孔泄漏形成的混合气及配置的标准混合气体在累积模式下离子流的变化率得到漏孔漏率,解决了无法测量微小示漏气体离子流信号的技术瓶颈;采用全金属密封结构和特殊的工艺处理解决了累积室中延伸下限由于本底示漏气体的影响因素,采用体积小于1 mL的取样室通过直接取样和膨胀衰减压力取样获得与漏孔累积后形成同等数量的标准混合气体,解决了微小漏率正压漏孔校准所用标准混合气体获得。为此基于累积比较法的正压漏孔校准方法实现了10~(-8)~10~(-10)Pa·m~3/s的校准范围,合成标准不确定度不超过7. 5%。 相似文献
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本文介绍了实验室参加CNAS组织的压力变送器校准能力验证活动情况,对本次能力验证过程进行了分析。按照JJF 1059. 1-2012《测量不确定度的评定与表示》以及JJG 882-2019《压力变送器检定规程》,对各校准点的各不确定度分量主要来源进行分析与评定,根据压力变送器校准的测量模型对其合成不确定度进行评定,结合测量数据计算出合成标准不确定度和扩展不确定度。根据参比实验室及参考实验室的能力验证数据,计算En值。数据表明:参比实验室参加能力验证结果为满意。 相似文献
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J.M. Hidalgo 《Vacuum》2008,82(11):1151-1156
A study of the calibration of leaks by comparison with reference standard leaks calibrated at a National Metrology Laboratory is presented. The simplicity and efficiency of the method make it suitable for calibrations of leaks carried out at the industrial level. A commercial leak tester equipped with a mass spectrometer tuned to helium is used for the comparison. The main origins of uncertainties and their contributions to the expanded uncertainty are presented. In particular, discussion is devoted to the long-term stability, shift, or depletion of the reference standard leaks and the resulting impact on the expanded uncertainty. Results of application of the procedure for calibration of a leak of similar metrological characteristics to the reference standard leaks are also presented. 相似文献
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A variable reference leak rate system is developed for real time calibration of ultrasensitive leak detection. It is based on the molecular flow characteristics of the platinum wire-glass leak element combined with a helium pressure adjustable device. Helium reference leak rate range from 10−14 to 10−10 Pa m3/s is provided and has been used for real time calibration of ultrasensitive mass spectrometer leak detection system. 相似文献
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为了准确评估X射线剂量监测用防护仪表的校准因子的不确定度,依据有关技术规范,用标准电离室对参考点位置处的剂量当量率参考值进行测量;采用替代法获得待校仪表的显示值,从而确定校准因子结果的相关影响因素,并分别对影响量的不确定度进行评定;得出仪表校准因子的相对扩展不确定度为5.0%(k=2)。影响校准因子不确定度的主要来源包括校准用辐射场的均匀性、标准电离室本身的刻度因子及能量响应、剂量当量转换因子、待检仪表显示值的统计标准偏差等。在对该类仪表的校准过程中,通过提高标准参考值的不确定度水平可以改善校准因子的不确定度。 相似文献