提高MEMS检波器技术指标的研究

通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性。     

MEMS中薄膜热物性测试方法研究

介绍关于薄膜热物性的测试方法，分析了各种方法的适用条件，并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较，旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展。     

液锻锤动态特性测试方法及计算机处理分析

本文介绍了液压模锻锤基础振动及打击力等动态特性的测试方法,并通过计算机处理分析了加速度图和动态频谱图,有助于对液压锤打击振动过程的了解。     

通载浮桥动态位移的测试方法与数据分析

通载浮桥的动态位移，由于其位移幅度相对于固定桥要大得多，而且其垂向位移是由结构变形、间隙变化以及吃水变化等多种因素引起，一般难以对其进行动态位移测试。介绍了一种通载浮桥动态大位移的简易测试方法。该方法基于利用数字摄像技术对浮桥多点的动态位移进行实时跟踪记录，将记录结果采集到计算机，通过人工读取的方式获取各测点在各时刻的位移数据。通过对实际测量结果进行的数据分析，表明了本文介绍的测试方法简便可行，能满足精度要求。     

液压模锻锤动态特性测试方法及计算机处理分析

本文介绍了液压模锻锤基础振动及打击力等动态特性的测试方法,并通过计算机处理分析了加速度图和动态频谱图,有助于对液压锤打击振动过程的了解。     

压电双晶片参数及温度特性的动态测试方法

本文提出一种压电材料参数动态测试模型,用于测量压电双晶片的几个主要材料参数：压电应变常数ｄ３１、机电耦合系数ｋ３１、介电常数ε３３＾Ｔ、弹性柔顺系数ｓ１１＾Ｅ及材料参数的温度特性。本文的这种测量方法不同于通常的由标准试样测量压电材料参数的方法,是直接由一种实用元件－压电双晶片（非标准试样）测量压电材料的参数。文中详细描述了测试原理、测试步骤及一种实际试样的测试结果。理论与实验结果表明：这种新的测试     

动态轨道衡台面振动特性参数的测试方法

本文介绍一种动态轨道衡称量台面动态固有参数中自振频率及阻尼系数的测试方法,为系统优化设计提供了行之有效的验证手段。     

一种电控喷油器动态时间参数测试方法

详细分析了电控喷油器的动态工作过程,基于电控喷油器线圈电流变化规律,提出一种测试其动态响应时间的方法。以高性能C8051F310单片机为处理器,设计了喷油器开启与关闭响应时间的测试电路,开发了成本低、测试便捷、精度高的测试系统。实测结果表明,喷油器的开启与关闭的响应时间测量误差分别为0.9%和1.14%,满足喷油器设计开发、生产的要求。同时,给出了开启响应时间随供电电压的变化关系曲线,该曲线为电控喷油器标定及发动机匹配时对喷油量的修正提供了参考。     

MAK—04型粘弹分析仪测试方法及实验条件的选择

本文介绍ＭＡＫ－０４型粘弹分析仪的测试方法和实验条件的选择方法，举例说明温度、扫描频率、振幅等条件对测试结果的影响。只有合理地选择测试方法和实验条件，才能得到满意的实验结果。     

超低频正弦波信号波形参数的精确评价

介绍了精确评价正弦波序列的幅度、频率、相位、直流分量和失真度几个参数的一种方法,使用的手段是曲线拟合与数字滤波,并讨论了其拟合误差情况。以两组仿真实验结果,验证了本文所述方法及过程的正确性和实用性,从而实现了正弦波形参数的精确评价。     

新型室温工作微机械红外探测器

提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器.利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8～14μm有良好的应用前景.     

Studying the Characteristics and Optimizing the Parameters of a Parallel-Plate Chamber Used As a Detector for Time-of-Flight Measurements

The evolution of a technique for precise and highly efficient time-of-flight measurements of minimum-ionizing particles is described. The technique is based on the use of parallel-plate chambers operating in the avalanche mode of gas amplification. The search for the proper material and design for the detector, the choice of the gas mixture composition, the results from the investigation of the gas discharge in the chamber, and the probability of a spark discharge are discussed, along with the development of fast and low-noise electronics.By optimizing the parameters of a parallel-plate chamber, a simple, reliable, and low-cost time-of-flight detector with a resolution of 200 ps and an efficiency of 90% or higher for minimum-ionizing particles was developed.     

一种A/D静态参数和动态参数的测试方法

设计了一套测试模数转换器静态和动态参数的方案.首先具体解释了模数转换器的静态参数和动态参数的定义,包括INL、DNL、信噪比、有效位数等,其次阐述了码密度测试和快速傅立叶变换测试的原理,最后用该方案对清华设计的高速模数转换器TH0307进行了测试并给出测试结果.该方案适合批量测试.     

一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计

为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.     

Optoelectronic System for Studying Nanodisplacements of Moving MEMS Elements

An experimental structure of an optoelectronic system for contactless measurements of micro- and nanodisplacements of moving MEMS elements is considered. The system is based on a heterodyne interferometer with a frequency-stabilized He–Ne laser and an acousto-optical modulator of laser radiation. A resolution of less than 1 nm in terms of the moving element displacement is reached in experiments by applying voltage pulses with amplitudes up to 1 V on the MEMS structure; moreover, the displacement amplitude is found to be a linear function of the control voltage with sensitivity of 100–200 nm/V. No hysteresis is observed on the curve plotted in the coordinates of the element location and control voltage.     

一种用于气体检测MEMS电容式红外发光强度探测器

文章提出了一种用于气体检测的MEMS电容式红外发光强度探测器。结合理论推导和仿真分析确定了该探测器的尺寸大小,并对其制作工艺流程做了叙述。它基于气体的红外吸收热效应,借助弹性薄膜的形变将热量变化转变为电容量变化,再经基于运算放大器的电容微传感器检测电路以电压信号输出。将它与环境气室采用MEMS技术一体化,能够得到体积小、精度高和可批量生产的气体检测装置。     

滚珠丝杠动态特性参数识别试验台的设计

滚珠丝杠的动态特性严重影响数控机床进给系统的工作性能,为了能够准确识别滚珠丝杠进给系统的动态特性参数,基于滚珠丝杠副动态特性参数识别的力学模型,分析影响参数识别的主要因素,搭建滚珠丝杠动态特性参数识别试验测试装置,并根据有限元软件对测试装置试验台分析的结果,通过调整试验台筋板布置的密度和厚度,对试验台进行了结构优化,满足滚珠丝杠副动态特性参数识别测试装置的设计要求,有助于提高滚珠丝杠副动态特性参数识别的精度。     

一种基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器研究

提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机.对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg.该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测.     

TGC探测器的研制及性能测试

介绍了TGC探测器的结构、原理及制作工艺,对TGC探测器制作过程中的性能进行了测试,对TGC探测器的生产具有一定的指导作用.     

A Coordinate Detector for Studying Horizontal Fluxes of Cosmic Rays

A DECOR coordinate detector is a multilayer system of plastic streamer tube chambers located around a NEVOD Cerenkov water calorimeter. The basic characteristics of the detector are as follows: the area is 100 m², the angular resolution is 1°, and the space resolution is 1 cm. The structure of the detector, data acquisition and trigger systems, and results obtained during the operation of a pilot assembly (8 chamber layers and a working area of 8.4 m²) are given.