| 有机薄膜电致发光器件工艺检测的一种简便方法——覆膜加热观测法 |
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| 引用本文： | 周美娟,何钧,廖良生,侯晓远.有机薄膜电致发光器件工艺检测的一种简便方法——覆膜加热观测法[J].发光学报,2001,22(2):125-130. |
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| 作者姓名： | 周美娟 何钧 廖良生 侯晓远 |
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| 作者单位： | 复旦大学物理系; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 697760 3 4 ) |
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| 摘 要： | 提出了一种简便易行、并与有机薄膜电致发光器件制备工艺完全兼容的工艺检测方法－－覆膜加热观测法。这种方法是在器件的制备工艺过程中，同时在铟锡氧化物（ITO）电极的各层有机薄膜上覆盖一层不透气的薄膜（如金属Al膜等），接着进行快速加热，最后对器件表面进行形貌观测。采用这种方法，观察了器件表面气泡的形成过程，观察了加热温度、ITO表面处理以及有机物纯度对敢泡形成的影响。实验表明，覆膜加热观测法能有效地对工艺进行对比检测，从而达到改进工艺、提高器件质量的目的。
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| 关 键 词： | 有机薄膜 热处理 表面形貌 工艺检测 电致发光器件 覆膜加热观测法 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)02-0125-06 |
| 修稿时间： | 2000年7月25日 |
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