| TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究 |
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| 引用本文： | 白红艳,涂洁磊,肖祥江,付蕊,赵沛坤,李烨.TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究[J].人工晶体学报,2013,42(10):2059-2064. |
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| 作者姓名： | 白红艳 涂洁磊 肖祥江 付蕊 赵沛坤 李烨 |
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| 作者单位： | 云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,昆明650092 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划项目(2011AA050512) |
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| 摘 要： | 采用真空电子束蒸发法制备TiO2/SiO2双层减反射膜,实现宽波段范围内的低反射率,以满足砷化镓三结太阳电池对入射光的需求.主要研究了基片温度、电子束流和充氧量对TiO2、SiO2单层膜性能(膜层厚度、折射率)的影响.研究过程中,按照三因素两水平的正交实验进行,用分光光度计对TiO2、SiO2薄膜样品的折射率进行测试.实验结果显示,两种氧化物介质膜的折射率均随基片温度和束流的升高而增加,随氧压的升高而降低,工艺参数对TiO2膜性能影响较大.
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| 关 键 词： | TiO2/SiO2 减反射膜 电子束蒸发 折射率 |
Preparation and Properties of TiO2/SiO2 Double-layer Antireflecting Films |
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| BAI Hong-yan,TU Jie-lei,XIAO Xiang-jiang,FU Rui,ZHAO Pei-kun,LI Ye.Preparation and Properties of TiO2/SiO2 Double-layer Antireflecting Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(10):2059-2064. |
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| Authors: | BAI Hong-yan TU Jie-lei XIAO Xiang-jiang FU Rui ZHAO Pei-kun LI Ye |
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