| 多层膜外退火方法制备MgB2超导薄膜 |
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| 引用本文： | 余增强,吴克,马小柏,聂瑞娟,王福仁.多层膜外退火方法制备MgB2超导薄膜[J].物理学报,2007,56(1). |
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| 作者姓名： | 余增强 吴克 马小柏 聂瑞娟 王福仁 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 报道了利用电子束蒸发的Mg/B多层膜作为前驱体,然后退火制备MgB2薄膜的工作.实验中发现,采用翻转膜面的退火处理方式可以有效地避免降温过程中Mg蒸气在薄膜表面形成的颗粒凝结,由此稳定地实现了面积为10 mm×10mm,均匀、平整的超导薄膜的制备,Tc达35 K,转变宽度为0.8 K,在5 μm×5 μm的区域内薄膜的平均粗糙度小于10 nm.为了便于后续器件制作过程中的微加工工艺,研究了膜厚小于1000 (A)时薄膜的成相规律,发现当样品厚度减薄后,Te会有明显降低.通过调整前驱薄膜中的不同分层厚度,仍可实现转变温度达30 K以上、厚度约600 (A)的MgB2薄膜,在20 K时的临界电流密度为2.4×106 A/cm2.
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| 关 键 词： | MgB2薄膜 外退火 超导成相 表面形貌 |
Fabrication of MgB2 films via multilayer ex-situ annealing |
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| Yu Zeng-Qiang,Wu Ke,Ma Xiao-Bai,Nie Rui-Juan,Wang Fu-Ren.Fabrication of MgB2 films via multilayer ex-situ annealing[J].Acta Physica Sinica,2007,56(1). |
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| Authors: | Yu Zeng-Qiang Wu Ke Ma Xiao-Bai Nie Rui-Juan Wang Fu-Ren |
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