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| 电子回旋共振等离子体特性及其对 生长氮化镓晶膜的影响 | |
| 引用本文： | 杜小龙,陈广超,江德仪,姚鑫兹,朱鹤孙.电子回旋共振等离子体特性及其对 生长氮化镓晶膜的影响[J].物理学报 |
| 作者姓名： | 杜小龙 陈广超 江德仪 姚鑫兹 朱鹤孙 |
| 摘 要： | |
PROPERTIES OF ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMAS AND THEIR INFLUENCE ON THE DEPOSITION OF GaN FILMS |
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| DU XIAO-LONG.PROPERTIES OF ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMAS AND THEIR INFLUENCE ON THE DEPOSITION OF GaN FILMS[J].Acta Physica Sinica | |
| Authors: | DU XIAO-LONG |
| Affiliation: | DU XIAO-LONG1)2) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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