| 大口径标准镜绝对面形精度传递方法 |
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| 引用本文： | 徐凯源,李强,刘昂,高波,何宇航.大口径标准镜绝对面形精度传递方法[J].强激光与粒子束,2013,25(12):3210-3214. |
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| 作者姓名： | 徐凯源 李强 刘昂 高波 何宇航 |
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| 作者单位： | 1.成都精密光学工程研究中心, 成都 61 0041 |
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| 摘 要： | 提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法，在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下，可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同，待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时，绝对面形会发生变化，变化集中在离焦量上；在待测标准镜使用状态下，通过对经典三板互检法得到的竖直方向直线绝对面形的分析，得到标准镜使用状态离焦量的估计，以此修正直接精度传递结果，最终得到待测标准镜使用状态下的绝对面形。比较同一块光学元件在两台干涉仪上标定前和标定后的测量结果，标定后的面形差值更小且分布一致性更好，证明了本方法的有效性和可行性。
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| 关 键 词： | 波前检测 面形精度传递方法 高精度面形检测 干涉检测 光学仪器 |
| 收稿时间： | 2013-09-11 |
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