| 条形和脊型SOI波导微环结构传感性能研究 |
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| 引用本文： | 邓丽莉,石强,张辉,段倩倩,菅傲群,桑胜波,张文栋. 条形和脊型SOI波导微环结构传感性能研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 0(2) |
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| 作者姓名： | 邓丽莉 石强 张辉 段倩倩 菅傲群 桑胜波 张文栋 |
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| 作者单位： | 太原理工大学 微纳系统研究中心，山西 太原 030024; 太原理工大学 新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室，山西 太原 030024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(91123036;51105267)；高等学校博士学科点专项科研基金(20131402110013;20111402120007)；山西省科技厅科技重大专项(20121101004)；山西省高等学校特色重点建设学科项目(晋教材[2012]45号)；山西省回国留学人员科技活动项目择优资助项目 |
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| 摘 要： | 使用时域有限差分(FDTD)方法研究了基于SOI微环谐振腔结构的条形和脊型波导，探究了微环谐振腔应用于生物传感的理论。分析了结构的几何尺寸对生物传感器灵敏度的影响。通过分析条形和脊型波导的模场分布图，解释了条形波导的灵敏度明显高于脊型波导的原因，且随着波导宽度的增加其灵敏度系数的变化遵循相同的趋势。并且，当条形波导取得最高的灵敏度系数时，其横截面是方形的，然而脊型波导的最大灵敏度值对应的却是不完全对称的几何结构。当条形波导的横截面全对称时，灵敏度达到最大值172.3 nm/RIU。
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| 关 键 词： | 条形和脊型波导 微环谐振腔 生物传感器 横截面 |
Investigation on the sensing performances of strip and rib SOI waveguides microring structures |
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| Deng Lili,Shi Qiang,Zhang Hui,Duan Qianqian,Jian Aoqun,Sang Shengbo,Zhang Wendong. Investigation on the sensing performances of strip and rib SOI waveguides microring structures[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 0(2) |
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| Authors: | Deng Lili Shi Qiang Zhang Hui Duan Qianqian Jian Aoqun Sang Shengbo Zhang Wendong |
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| Keywords: | strip and rib waveguides microring resonator biosensor cross section |
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