用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度 |
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引用本文: | 高党忠,王明达.用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度[J].强激光与粒子束,1999,11(3):321-324. |
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作者姓名: | 高党忠 王明达 |
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作者单位: | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
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基金项目: | 国家863惯性约束聚变领域资助课题 |
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摘 要: | 原子力显微镜靶丸4π旋转装置,可以将靶丸在夹持状态下实现4π方向旋转,便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量,测量结果表明,靶丸外表面粗糙度小于10nm,内表面粗糙度小于20nm。
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关 键 词: | 原子力显微镜 靶丸4π旋转测量装置 ICF靶参数测量 |
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