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| MEMS技术的发展现状及应用 | |
| 引用本文： | 张杨林.MEMS技术的发展现状及应用[J].机械工人(冷加工),2005(4):66-68. |
| 作者姓名： | 张杨林 |
| 作者单位： | 湖南省郴州职业技术学院 423000 |
| 摘 要： | 微电子机械系统(MEMS)技术是在微电子和微机械技术上发展起来的一门多学科交叉技术。MEMS包括微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源部件等，能完成大尺度电子机械系统所不能完成的工作，从而极大地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 微电子机械系统 应用 现状 多学科交叉 微机械技术 可靠性水平 微传感器 微执行器 控制电路 信号处理 电源部件 通信接口 大尺度 自动化 智能化 |
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