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| 超精密测量技术的应用进展 | |
| 引用本文： | 马爱民,马忠臣.超精密测量技术的应用进展[J].机械工程师,2013(6). |
| 作者姓名： | 马爱民 马忠臣 |
| 作者单位： | 1. 黑龙江省冶金研究所,哈尔滨,150040 2. 黑龙江省机械科学研究院,哈尔滨,150040 |
| 摘 要： | 超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证.激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化；电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制.文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍. |
| 关 键 词： | 纳米测量 激光干涉仪 |
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