光纤型表面粗糙度比较测量仪的研制 |
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引用本文: | 包学诚,陈雅贞.光纤型表面粗糙度比较测量仪的研制[J].仪器仪表学报,1989,10(1):72-77. |
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作者姓名: | 包学诚 陈雅贞 |
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作者单位: | 上海交通大学
(包学诚,陈雅贞),上海医用诊察仪器厂
(海啸),上海医用诊察仪器厂(赵周) |
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摘 要: | 本文简单论述根据光散射理论研制的表面粗糙度测量光纤传感器的结构特点,介绍了利用这种新型传感器构成的表面粗糙度比较测量仪的结构原理和性能分析。仪器实际测量精度为±20%,重复精度为±5%。
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关 键 词: | 表面粗糙度 测量仪 光纤型 |
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