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| 一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪 | |
| 引用本文： | 王佳,章恩耀.一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪[J].仪器仪表学报,1993,14(1):14-19. |
| 作者姓名： | 王佳 章恩耀 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器系 (王佳，章恩耀，李达成)，清华大学精密仪器系(曹芒) |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪。这套测量系统是集精密机械,精密气浮,光电检测和计算机技术于一体的复杂测量系统。本仪器采用激光外差干涉仪作为传感器,能够测量盘片轴向偏摆速度,加速度和偏摆量,获得了较高的分辨率,稳定性和线性。不仅能够测量金属盘片,而且能适用于新发展的非金属盘片和记录介质。 |
| 关 键 词： | 加速度测量 测量仪器 盘片偏摆速度 |
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