| 基于激光技术的亚纳米级位移测量系统的研究 |
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| 引用本文： | 曲兴华,王丽华.基于激光技术的亚纳米级位移测量系统的研究[J].仪器仪表学报,2010,31(6). |
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| 作者姓名： | 曲兴华 王丽华 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;上海计量测试技术研究院,上海,201203 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，天津市应用基础及前沿技术研究 |
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| 摘 要： | 研究和开发一种基于激光技术的新型亚纳米级位移测量系统。在马赫-曾德干涉仪的基础上进行改进,结合激光多普勒技术和激光偏振干涉技术,设计新型激光干涉测量光路,具有抗干扰能力更强、光路简单、易于安装调试等特点。将DSP技术引入激光干涉仪的信号处理系统,研究改进的8细分算法,完成对干涉条纹的细分、辨向和计数功能。经实验分析和研究证明,测量分辨力达到0.16 nm,运行速度可达0.14 mm/s,量程可达4μm,上述方法有效可行,可实现被测物体的亚纳米级位移测量。
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| 关 键 词： | 精密测量 亚纳米级位移 激光多普勒技术 偏振干涉 |
Research on a sub-nanometer displacement measuring system based on laser technology |
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| Qu Xinghua,Wang Lihua.Research on a sub-nanometer displacement measuring system based on laser technology[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2010,31(6). |
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| Authors: | Qu Xinghua Wang Lihua |
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