| MEMS微型可编程光栅的研究现状（下） |
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| 引用本文： | 虞益挺,苑伟政.MEMS微型可编程光栅的研究现状（下）[J].仪器仪表学报,2008,29(6). |
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| 作者姓名： | 虞益挺 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 教育部高等学校科技创新工程基金
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教育部跨世纪优秀人才培养计划
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陕西省西安市科技计划
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西北工业大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 近十几年来,微机电系统--MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益.光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的.本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势.
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| 关 键 词： | 衍射光栅 微机电系统 微光机电系统 微型可编程光栅 MEMS 微型 可编程 光栅结构 研究 现状 gratings programmable 趋势 制作工艺 情况 相关 科研机构 国际 重点 传统技术 可控性 动态 关键结构 光学元器件 |
Review of MEMS-based programmable gratings: Part Ⅱ |
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| Yu Yiting,Yuan Weizheng.Review of MEMS-based programmable gratings: Part Ⅱ[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2008,29(6). |
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| Authors: | Yu Yiting Yuan Weizheng |
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