| C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究 |
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| 引用本文： | 崔云先,杨琮,薛生俊,殷俊伟,杜鹏.C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究[J].仪器仪表学报,2019,40(3):163-171. |
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| 作者姓名： | 崔云先 杨琮 薛生俊 殷俊伟 杜鹏 |
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| 作者单位： | 大连交通大学机械工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51575074)项目资助 |
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| 摘 要： | 针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题,研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法。采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni-Cr-ZrO_2复合过渡层,采用磁控溅射法在Ni-Cr-ZrO_2复合过渡层上依次制备了SiO_2绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶和SiO_2保护膜。对不同厚度SiO_2绝缘膜的绝缘性能进行研究,结果表明3μm厚的SiO_2薄膜绝缘电阻值可达1.64×10~9Ω。对传感器静态性能的实验研究结果表明,在50～600℃,塞贝克系数为42.1μV/℃,非线性误差1.52%。用理论计算与实验结合的方式对传感器的动态性能进行了研究,结果表明,传感器的动态响应时间在微秒级,可实现瞬态温度测试。对传感器进行测温实验,结果表明传感器能满足室温～600℃范围内瞬态温度检测的需求。
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| 关 键 词： | 瞬态温度 金属过渡层 薄膜热电偶 动态性能 |
Study on high temperature transient temperature sensor on C/SiC composite surface |
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| Cui Yunxian,Yang Cong,Xue Shengjun,Yin Junwei,Du Peng.Study on high temperature transient temperature sensor on C/SiC composite surface[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2019,40(3):163-171. |
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| Authors: | Cui Yunxian Yang Cong Xue Shengjun Yin Junwei Du Peng |
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| Affiliation: | College of Mechanical Engineering,Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transient temperature metal transition layer thin film thermocouple dynamic performance |
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