| 基于CCD的在线厚度测量方法研究 |
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| 引用本文： | 刘瑾,杨海马,张菁.基于CCD的在线厚度测量方法研究[J].仪器仪表学报,2006,27(Z2):1217-1218. |
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| 作者姓名： | 刘瑾 杨海马 张菁 |
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| 作者单位： | 1. 上海工程技术大学电子电气工程学院,上海,201600
2. 上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海,200093 |
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| 摘 要： | 基于光学三角法的测量原理,采用CCD作为光电转换器件,根据成像于CCD上的像点的位移变化来实现物体厚度或微位移变化的测量方法,具有高精度、高灵敏度等优点.该方法能够实现在线动态检测和非接触测量.
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| 关 键 词： | 光学三角法 CCD 在线测量 |
Study on method of on-line thickness detection based on CCD |
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| Liu Jin,Yang Haima,Zhang Jing.Study on method of on-line thickness detection based on CCD[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z2):1217-1218. |
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| Authors: | Liu Jin Yang Haima Zhang Jing |
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