| LSI薄膜台阶测量仪的研制 |
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| 引用本文： | 王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英.LSI薄膜台阶测量仪的研制[J].仪器仪表学报,1998,19(3):268-273. |
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| 作者姓名： | 王云庆 李庆祥 薛实福 周兆英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。
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| 关 键 词： | 台阶测量 触针 片簧支承 模糊控制 |
Development of the LSI Thin-film Step Height Measuring Instrument |
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| Wang Yun-qing,Li Qing-xiang,Xue Shi-fu,Zhou Zhao-ying.Development of the LSI Thin-film Step Height Measuring Instrument[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,1998,19(3):268-273. |
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| Authors: | Wang Yun-qing Li Qing-xiang Xue Shi-fu Zhou Zhao-ying |
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| Affiliation: | Tsinghua University Beijing 100084 |
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| Keywords: | Step height measurement Stylus Leaf spring bearing Fuzzy control |
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