| 微细加工用两轴联动压电平台控制系统研究 |
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| 引用本文： | 张建华,葛红宇,李宏胜.微细加工用两轴联动压电平台控制系统研究[J].制造技术与机床,2012(8):125-128. |
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| 作者姓名： | 张建华 葛红宇 李宏胜 |
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| 作者单位： | 南京工程学院自动化学院,江苏南京,211167 |
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| 基金项目： | 江苏省自然科学基金，江苏省高校自然科学基金 |
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| 摘 要： | 根据微细加工的实时性、精度要求,提出压电器件的分段控制方法及其两轴联动的嵌入式控制系统结构。根据误差将压电器件控制分为恒电压控制与误差控制两个阶段,恒电压控制段采用迟滞特性主环的平均曲线估算恒值控制电压,误差控制段利用积分控制,研制了基于ARM Cortex处理器的两轴联动微细加工用压电平台控制系统。测试表明:阶跃响应稳态误差<0.1μm,调节时间约1.2ms,超调量约5.6%;正弦响应误差-0.343～0.245μm;轮廓稳态误差-0.084～0.079μm,考虑系统超调,轮廓误差-0.41～0.131μm,能满足微细加工领域的实时精确控制要求。
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| 关 键 词： | 轮廓误差 实时性 联动控制 微细加工 轮廓控制 |
Coordinated control system of two-axis piezo platform for micro machining |
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| ZHANG Jianhua
,
GE Hongyu
,
LI Hongsheng.Coordinated control system of two-axis piezo platform for micro machining[J].Manufacturing Technology & Machine Tool,2012(8):125-128. |
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| Authors: | ZHANG Jianhua GE Hongyu LI Hongsheng |
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| Affiliation: | (School of Automation,Nanjing Institute of Technology,Nanjing 211167,CHN) |
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| Abstract: | |
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