| 光学投影式检测非球面器件的模拟计算 |
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| 引用本文： | 段存丽,田爱玲,陈芳.光学投影式检测非球面器件的模拟计算[J].光学仪器,2005,27(1):47-51. |
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| 作者姓名： | 段存丽 田爱玲 陈芳 |
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| 作者单位： | 西安工业学院光电科学与工程学院,陕西,西安,710032;西安交通大学电信学院,陕西,西安,710049;西安工业学院光电科学与工程学院,陕西,西安,710032 |
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| 基金项目： | 陕西省科技厅基金项目(03JK170) |
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| 摘 要： | 针对光学投影式检测非球面器件过程进行模拟,利用光学的基本理论和数学公式推导,对非球面度的检测过程进行了理论分析及精密计算,并对理论分析的结果进行了计算模拟,模拟得到的非球面度能较好地与理论结果相符合,模拟的精度达到了0.1nm。
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| 关 键 词： | 光学检测 非球面器件 理论计算 模拟计算 |
| 文章编号： | 1005-5630(2005)01-0047-05 |
| 修稿时间： | 2004年5月31日 |
Simulation calculation of measuring optical aspheric surface based on light pattern projection |
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| DUAN Cun-li.Simulation calculation of measuring optical aspheric surface based on light pattern projection[J].Optical Instruments,2005,27(1):47-51. |
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| Authors: | DUAN Cun-li~ |
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| Affiliation: | DUAN Cun-li~ |
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| Abstract: | Simulation calculation of measuring optical aspheric surface based on light pattern projection is introduced. The measure of asphericity is analysed and calculated by basic theory of optical and calculation of math formula.The result of theory analysis is simulated on computer.The precision of simulation achieves to 0.1nm.The simulation calculation result has a good according with theory calculation. |
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| Keywords: | optical measure aspheric surface theory calculation simulation calculation |
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