| 液相芯片微流器件制备方法综论 |
| |
| 引用本文： | 张玺,倪旭翔,陆祖康.液相芯片微流器件制备方法综论[J].光学仪器,2005,27(4):92-96. |
| |
| 作者姓名： | 张玺 倪旭翔 陆祖康 |
| |
| 作者单位： | 1. 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江杭州310027;武汉军械士官学校光电技术研究所,湖北武汉430075
2. 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江杭州310027 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60378042) |
| |
| 摘 要： | 微流器件的制备是液相芯片技术一项重要的相关技术。分别简要地介绍了硅、玻璃和石英基片的机械加工法、光刻和蚀刻法与高分子基片的激光烧蚀法制备微流器件的原理和方法,以及实验结果。
|
| 关 键 词： | 液相芯片 微流器件 机械加工 光刻和蚀刻 激光烧蚀 |
| 文章编号： | 1005-5630(2005)04-0092-05 |
| 修稿时间： | 2004年11月25 |
Research of microfluidic channel manufacturing methods for suspension array |
| |
| ZHANG Xi.Research of microfluidic channel manufacturing methods for suspension array[J].Optical Instruments,2005,27(4):92-96. |
| |
| Authors: | ZHANG Xi~ |
| |
| Abstract: | Manufacturing of microfluidic channel is an important technology associated with suspension array technology.Microfluidic channel can be made of silicon or glass by means of machine processing or chemical etching.The material can also be PMMA when laser ablating is adopted.Theories of these methods are discussed.Results of experiments are presented. |
| |
| Keywords: | suspension array microfluidic device machine processing chemical etching laser ablating |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《光学仪器》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光学仪器》下载全文 |
