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| 射频MEMS开关的研究 | |
| 引用本文： | 陈光红,吴清鑫,于映,罗仲梓.射频MEMS开关的研究[J].中国仪器仪表,2008(8). |
| 作者姓名： | 陈光红 吴清鑫 于映 罗仲梓 |
| 作者单位： | 1. 苏州市职业大学电子信息工程系,江苏苏州,215104 2. 福州大学物理与电信工程学院,福州,350002 3. 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门,361005 |
| 基金项目： | 国家青年科学基金，福建省自然科学基金 |
| 摘 要： | 概述射频MEMS开关的研究背景及意义，介绍国内外射频MEMS开关的研究现状，列举出两种主要的射频MEMS开关：电容耦合并联式开关和金属．金属接触串联式开关的结构、工作原理、性能比较。 |
| 关 键 词： | 射频MEMS开关 金属-金属接触串联式 电容耦合并联式 |
Study on RF MEMS Switch |
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