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激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量
引用本文:李欣,王晓东,罗怡,任同群.激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量[J].机电工程技术,2020,49(9):89-92,160.
作者姓名:李欣  王晓东  罗怡  任同群
作者单位:大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024;大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024
基金项目:高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项
摘    要:

关 键 词:激光陀螺稳频器  压电陶瓷片  微位移测量  自动化设备
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