激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量 |
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引用本文: | 李欣,王晓东,罗怡,任同群.激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量[J].机电工程技术,2020,49(9):89-92,160. |
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作者姓名: | 李欣 王晓东 罗怡 任同群 |
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作者单位: | 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024;大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024 |
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基金项目: | 高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 激光陀螺稳频器 压电陶瓷片 微位移测量 自动化设备 |
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