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| FMEA在蓝宝石衬底生产周期改善中的应用研究 | |
| 引用本文： | 潘春荣,梁家玮,谢斌晖.FMEA在蓝宝石衬底生产周期改善中的应用研究[J].机械设计与制造,2022,375(5):176-180. |
| 作者姓名： | 潘春荣 梁家玮 谢斌晖 |
| 作者单位： | 江西理工大学机电工程学院,江西赣州 341000;福建晶安光电有限公司,福建泉州 362000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金—混流晶圆加工自动化组合设备建模与调度优化（51665018）； |
| 摘 要： | 为了缩短某光电制造企业蓝宝石衬底生产周期，采用失效模式与影响分析（FMEA）方法，对蓝宝石衬底生产周期进行改善。首先，对蓝宝石衬底生产周期组成及工艺流程进行分析；其次，结合故障树寻找影响其生产周期的风险事件，再根据风险顺序数确定影响生产周期的关键风险事件，并制定改善对策；最后，将改善策略应用于蓝宝石衬底实际生产中，通过对比改善前后光电制造企业蓝宝石衬底生产周期状况，验证了FMEA方法在缩短蓝宝石衬底生产周期中的可行性和有效性。 |
| 关 键 词： | 蓝宝石衬底 生产周期 失效模式与影响分析(FMEA) 故障树分析 |
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