光栅横向位移遥测传感器

介绍了一种光栅横向位移遥测传感器，被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量，采用差路结构。理论计算和实验表明，此系统测量范围大、信号质量好、分辨率和测量精度高，并具有很大的景深范围，可应用于具体生产环境中的位移遥测。