| 大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法 |
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| 引用本文： | 李锐钢,郑立功,薛栋林,张学军.大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J].光学精密工程,2006,14(4):533-538. |
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| 作者姓名： | 李锐钢 郑立功 薛栋林 张学军 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,光学技术研究中心,吉林,长春,130031;中国科学院,研究生院,北京,100039 |
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| 摘 要： | 提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.
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| 关 键 词： | 非球面检验 干涉术 Fiducial功能 投影畸变 干涉图重构 标定 |
| 文章编号： | 1004-924X(2006)04-0533-06 |
| 收稿时间： | 2005-10-24 |
| 修稿时间： | 2006-08-16 |
Calibration method for projection distortion in interferometric testing high order and off-axis aspheric surface with big aperture |
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| LI Rui-gang,ZHENG Li-gong,XUE Dong-lin,ZHANG Xue-jun.Calibration method for projection distortion in interferometric testing high order and off-axis aspheric surface with big aperture[J].Optics and Precision Engineering,2006,14(4):533-538. |
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| Authors: | LI Rui-gang ZHENG Li-gong XUE Dong-lin ZHANG Xue-jun |
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| Affiliation: | 1. Optical Technology Research Center, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130031, China ; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aspheric surface testing interferometry Fiducial function projection distortion inter ferogram reconstruction calibration |
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