| 电子束直写大深宽比Si3N4薄膜支撑的光栅X射线准直器 |
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| 引用本文： | 李艺杰,肖君,陈宜方,童徐杰,穆成阳.电子束直写大深宽比Si3N4薄膜支撑的光栅X射线准直器[J].光学精密工程,2022,30(10):1181-1188. |
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| 作者姓名： | 李艺杰 肖君 陈宜方 童徐杰 穆成阳 |
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| 作者单位： | 复旦大学信息科学与工程学院纳米光刻与应用科研组,上海200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;上海STCSM项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | X射线准直器 Au光栅 电子束光刻 大深宽比 金电镀 |
Grating X-ray collimator supported by Si3N4 membrane with large aspect ratio written directly by electron beam |
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| LI Yijie,XIAO Jun,CHEN Yifang,TONG Xujie,MU Chengyang.Grating X-ray collimator supported by Si3N4 membrane with large aspect ratio written directly by electron beam[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(10):1181-1188. |
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| Authors: | LI Yijie XIAO Jun CHEN Yifang TONG Xujie MU Chengyang |
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