| 栅状阵列器件激光视觉检测系统及共面性评价方法 |
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| 引用本文： | 薛晓洁,叶声华,孙长库.栅状阵列器件激光视觉检测系统及共面性评价方法[J].机械工程学报,2001,37(5):78-80. |
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| 作者姓名： | 薛晓洁 叶声华 孙长库 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目! (6 990 6 0 0 1) |
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| 摘 要： | 应用激光线结构光传感器 ,将视觉检测成功应用于栅状阵列器件的共面性测量中 ,建立了测量系统数学模型 ,提出了以三点法为基础的共面性评价方法 ,并对BGA芯片进行了相应的试验研究 ,取得了满意的结果。
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| 关 键 词： | 栅状阵列器件 共面性 三点法 |
| 修稿时间： | 2000年6月6日 |
LASER VISUAL INSPECTION SYSTEM AND EVALUATING METHOD FOR GRID ARRAY DEVICE COPLANARITY |
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| XUE Xiaojie,Ye Shenghua,SUN Changku.LASER VISUAL INSPECTION SYSTEM AND EVALUATING METHOD FOR GRID ARRAY DEVICE COPLANARITY[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2001,37(5):78-80. |
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| Authors: | XUE Xiaojie Ye Shenghua SUN Changku |
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| Abstract: | Adopting line-structured laser sensor, successfully applies the visual inspection to the grid array device coplanarity measurement. With the mathematics model put forward, the evaluating method based on the three-point seating plane is presented, and corresponding experimental studies on the BGA chip coplanarity are carried out, which achieve satisfactory results. |
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| Keywords: | Grid array device Coplanarity Three-point seating plane method |
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