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| 碳纳米管薄膜湿度传感器及其机理 | |
| 引用本文： | 曹春兰,廖克俊,韦逢艳,杨晓红,李丽.碳纳米管薄膜湿度传感器及其机理[J].中国机械工程,2005,16(Z1):179-181. |
| 作者姓名： | 曹春兰 廖克俊 韦逢艳 杨晓红 李丽 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,重庆,400044;重庆通信学院,重庆,400035 2. 重庆大学,重庆,400044 3. 重庆师范大学,重庆,400047 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60376032) |
| 摘 要： | 制备了以碳纳米管薄膜为湿敏元件的湿度传感器,研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.实验中所用碳纳米管由化学气相沉积法(CVD)合成.实验结果表明,用酸处理后的多壁碳纳米管制得的薄膜湿敏元件的感湿范围宽、灵敏度高、湿滞回差小、响应时间快、稳定性好,可望成为一类新型的湿度传感器.对湿敏机理进行了讨论. |
| 关 键 词： | 碳纳米管 传感器 化学修饰 湿敏机理 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0179-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月4日 |
Humidity Sensor and Humidity-sensitive Mechanism of Carbon Nanotube Thin Films |
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| Cao Chunlan,Liao Kejun,Wei Fengyan,Yang Xiaohong,Li Li.Humidity Sensor and Humidity-sensitive Mechanism of Carbon Nanotube Thin Films[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):179-181. | |
| Authors: | Cao Chunlan Liao Kejun Wei Fengyan Yang Xiaohong Li Li |
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