| 采用AFM研究单晶硅纳米加工特性 |
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| 引用本文： | 闫永达,孙涛,董申.采用AFM研究单晶硅纳米加工特性[J].中国机械工程,2005,16(Z1):349-351. |
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| 作者姓名： | 闫永达 孙涛 董申 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275039);黑龙江省自然科学基金资助项目(E0306) |
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| 摘 要： | 为获得AFM金刚石微探针在纳米尺度上加工脆性材料的加工特性,在AFM系统上对单晶硅表面进行了刻划、加工实验.实验结果与宏观车削加工结果进行了对比,得出在纳米尺度上进行的加工属塑性域加工.采用AFM金刚石微探针加工硅表面的加工质量主要受材料残留高度和形成的切屑在已加工表面的粘结两个因素影响.验证了AFM作为一种加工工具,受其刻划方向的影响,可以很容易地实现纳米量级材料的去除,得到厚度为数个纳米的切屑.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜(AFM) 单晶硅 塑性加工 纳米加工 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0349-03 |
| 修稿时间： | 2005年5月5日 |
Investigation on Nano-machining Characteristics of Silicon by AFM |
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| Yan Yongda,Sun Tao,Dong Shen.Investigation on Nano-machining Characteristics of Silicon by AFM[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):349-351. |
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| Authors: | Yan Yongda Sun Tao Dong Shen |
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