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| 钇铝石榴石(YAG)和钆镓石榴石(GGG)外延衬底的超精密制备技术 | |
| 引用本文： | 滕霖,宋绍忠,任敬心.钇铝石榴石(YAG)和钆镓石榴石(GGG)外延衬底的超精密制备技术[J].中国机械工程,1997(5). |
| 作者姓名： | 滕霖 宋绍忠 任敬心 |
| 作者单位： | 中国航空工业总公司第618研究所!西安市，710065，西北工业大学!西安市，710072，西北工业大学!西安市，710072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金!59475072 |
| 摘 要： | 根据YAG和GGG晶体的性质，研究制订出从晶体外圆滚磨、定向、切割到研磨、抛光及检验的一套工艺方法，其中抛光工序是最关键的工序。为了保证抛光表面精度、质量及抛光效率，将抛光工序分成三步，首先用W0．5金刚石在锡盘上初抛，然后在无纺抛光布上细抛，最后用胶体软磨料抛光液在无纺抛光布上精抛。被抛光表面粗糙度Ra≤8nm，经腐蚀法及外延生长检验表面无缺陷和损伤。 |
| 关 键 词： | 钇铝石榴石 钆镓石榴石 抛光 |
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