| 用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管 |
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| 引用本文： | 郑川,徐晓刚,高文秀.用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管[J].中国机械工程,2005,16(13):1161-1164. |
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| 作者姓名： | 郑川 徐晓刚 高文秀 |
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| 作者单位： | 厦门大学,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 描述了一种用(110)晶面硅片制造微米针管的新方法。利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造,针管内径约10μm,外径约90μm,长度约500μm。整个针管结构平坦,便于与微泵等其他MEMS器件相接合,用于无痛皮下注射器和生化采样等。微米针管的制作工艺相对简单,材料廉价,适合于工业化批量生产。
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| 关 键 词： | 微米针管 MEMS 各向异性腐蚀 凸角结构 (110)晶面 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)13-1161-04 |
A Novel Fabrication of in-Plane Silicon Microneedles Using Structure of Convex Corner in (110) Si-Wafer |
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| ZHENG Chuan,Xu Xiaogang,Gao Wenxiu.A Novel Fabrication of in-Plane Silicon Microneedles Using Structure of Convex Corner in (110) Si-Wafer[J].China Mechanical Engineering,2005,16(13):1161-1164. |
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| Authors: | ZHENG Chuan Xu Xiaogang Gao Wenxiu |
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| Affiliation: | Zheng Chuan Xu Xiaogang Gao WenxiuXiamen University,Xiamen,361005 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microneedle MEMS wet anisotropic etching convex corner (110) si-wafe |
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