| 改善多步法谐波抑制的新方法——鉴相法 |
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| 引用本文： | 谭久彬,赵维谦,杨文国.改善多步法谐波抑制的新方法——鉴相法[J].中国机械工程,2001,12(Z1):161-162. |
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| 作者姓名： | 谭久彬 赵维谦 杨文国 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,哈尔滨市,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50075020) |
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| 摘 要： | 分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差，提出鉴相法误差分离技术。该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围，且使测量过程和测量系统大为简化，是建立纳米精度回转基准的一种较理想方法。
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| 关 键 词： | 误差分离技术 鉴相法 圆轮廓 纳米级测量 |
| 文章编号： | 1004-132Ⅹ(2001)S1-0161-02 |
| 修稿时间： | 2000年3月22日 |
A New Error Separation
Method-- Phase-distinguish Method to Improve Multi-step Error Separation Method |
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| TAN Jiubin,ZHAO Weiqian,YANG Wenguo.A New Error Separation
Method-- Phase-distinguish Method to Improve Multi-step Error Separation Method[J].China Mechanical Engineering,2001,12(Z1):161-162. |
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| Authors: | TAN Jiubin ZHAO Weiqian YANG Wenguo |
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| Abstract: | This paper analyzes the problems existing in the rotary datum and the system error of multi-step error separation method. Based on this, a new error separation method is presented, namely phase-distinguish method. The method largely expand the range without harmonious suppression, moreover, greatly simplify the measuring process and the measurement equipment. Thereby this method is a ideal method to establish the rotary datum with nanometer accuracy and realize nanometer measurement. |
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| Keywords: | error separation technology phase distinguish method circularity contour nanometer measurement |
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