| 表面形貌复合测量位移传感器的研究 |
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| 引用本文： | 卢圣凤,李柱.表面形貌复合测量位移传感器的研究[J].中国机械工程,2002,13(18):1545-1548. |
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| 作者姓名： | 卢圣凤 李柱 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,武汉市,430074
2. 华中科技大学精密仪器测试中心 |
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| 基金项目： | 武汉市青年科技晨光计划资助项目 ( 2 0 0 15 0 0 5 0 34) |
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| 摘 要： | 一种用于表面形貌测量的复合测量位移传感器，它将接触式触针传感器和非接触式光学传感器巧妙融合在一起，使得一个表面形貌测量位移传感器同时具备接触和非接触两种测量手段。其特点是利用了一个触针－反射镜测杆机构，将激光聚焦光束直接在被测工件表面扫描转换为对测杆上固接的反射镜扫描。其垂直测量范围1mm，垂直测量分辨率5nm。该传感器工作稳定可靠，使用灵活，可广泛用于研究机构和工业现场等进行表面形貌测量。
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| 关 键 词： | 表面形貌 接触式测量 非接触式测量 复合位移传感器 |
| 文章编号： | 1004-132X(2002)18-1545-04 |
A Compound Probe for Surface Topography Measurement |
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| LU Shengfeng.A Compound Probe for Surface Topography Measurement[J].China Mechanical Engineering,2002,13(18):1545-1548. |
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| Authors: | LU Shengfeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface topography contact measurement non-contact measurement compound probe |
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