首页 | 官方网站   微博 | 高级检索  
     

机载压阻式压力传感器设计与加工
引用本文:张栋,李永红. 机载压阻式压力传感器设计与加工[J]. 仪表技术, 2007, 0(6): 62-64
作者姓名:张栋  李永红
作者单位:中北大学,山西,太原,030051
摘    要:介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。

关 键 词:压力传感器  加工工艺  光刻  腐蚀  扩散
文章编号:1006-2394(2007)06-0062-03
修稿时间:2007-02-01

Study on Pressure Sensor Based on MEMS Processing Technology
ZHANG Dong,LI Yong-hong. Study on Pressure Sensor Based on MEMS Processing Technology[J]. Instrumentation Technology, 2007, 0(6): 62-64
Authors:ZHANG Dong  LI Yong-hong
Affiliation:School of Information and Communication Engineering, North University of China, Taiyuan 030051, China
Abstract:This paper introduces the study of low stress micro-sensor manufacturing and design principle. It pres- ents the methods combining both the bulk silicon micro-machining and surface sacrificial layer technology according to the domestic structures of the low stress micro-sensor with detailed manufacturing steps on this study.
Keywords:MEMS
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司    京ICP备09084417号-23

京公网安备 11010802026262号