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| 溅射功率对沉积纳米TiO2织物光催化性能的影响 | |
| 引用本文： | 徐阳,魏取福,邓炳耀.溅射功率对沉积纳米TiO2织物光催化性能的影响[J].纺织学报,2011,32(10):31-0. |
| 作者姓名： | 徐阳 魏取福 邓炳耀 |
| 作者单位： | 1. 江南大学 2. 江南大学纺服学院 3. 江南大学纺织服装学院 |
| 基金项目： | 江苏省自然科学基金资助项目(BK2008106); 生态纺织(江南大学)教育部重点实验室开放课题项目(KLET1013) |
| 摘 要： | 室温条件下采用直流磁控反应溅射技术在涤纶纺粘非织造织物表面生长二氧化钛（TiO2）薄膜。采用X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和原子力显微镜对不同溅射功率条件下所制备TiO2薄膜的结构和表面形貌进行表征，研究溅射功率对薄膜沉积速率以及沉积纳米TiO2织物光催化性能的影响。实验表明：在一定范围内，溅射功率对沉积薄膜的化学结构影响不大，但溅射功率增加，薄膜的沉积速率和溅射效率提高，薄膜均匀性、致密性增加，沉积纳米TiO2织物光催化性能提高。但过高的溅射功率使靶材出现过温，不仅使薄膜沉积速率降低，均匀性下降，而且易损伤靶材。 |
| 关 键 词： | 直流反应磁控溅射 功率 纳米TiO2 涤纶 纺黏非织造织物 光催化 |
| 收稿时间： | 2010-11-11 |
Effects of sputtering power on photocatalytic properties of TiO_2 deposited fabrics |
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| XU Yang,WEI Qufu,DENG Bingyao.Effects of sputtering power on photocatalytic properties of TiO_2 deposited fabrics[J].Journal of Textile Research,2011,32(10):31-0. | |
| Authors: | XU Yang WEI Qufu DENG Bingyao |
| Affiliation: | XU Yang,WEI Qufu,DENG Bingyao(Key Laboratory of Eco-Textiles(Jiangnan University),Ministry of Education,Wuxi,Jiangsu 214122,China) |
| Abstract: | Nanoscale titanium dioxide(TiO2) functional films were prepared on the surface of spun-bonded nonwoven polyester fabric at room temperature by DC reactive magnetron sputtering process.The surface morphology and the structural properties of TiO2 films deposited under different sputtering powers were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy,X-ray diffraction and atomic force microscopy.The deposition rate and photocatalytic properties of the fabrics with TiO2 films prepared under different sputtering... |
| Keywords: | DC reactive magnetron sputtering power nano titanium dioxide polyester spun-bonded nonwoven fabric photocatalysis |
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