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Al/Zr-V/Mo多层膜的吸氘性能研究
引用本文:王海峰,彭述明,张小红,龙兴贵,杨本福.Al/Zr-V/Mo多层膜的吸氘性能研究[J].原子能科学技术,2005,39(1):80-83.
作者姓名:王海峰  彭述明  张小红  龙兴贵  杨本福
作者单位:中国工程物理研究院,核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900
摘    要:对Al/Zr V/Mo多层膜的吸氘性能进行了实验研究。铝膜仅在320 ℃有单一的除气峰,Zr V膜的除气峰有2个,分别为220和350 ℃。当铝层平均厚度小于 0 6μm时,Al/Zr V多层膜的除气峰类似于Zr V膜;大于0 6μm时,类似于铝膜。多层膜的吸氘量随铝膜的厚度增加逐步减小,直至铝膜的平均厚度为0 7μm后,吸氘量不再有大的变化,但有小幅波动。由于 Al膜在除气中有不同程度的破坏,当铝膜平均厚度小于0 6μm时,多层膜的吸氘速率变化行为类似于 Zr V膜;当铝膜厚度大于 0 6μm时,多层膜的吸氘速率受铝膜厚度的影响不大。

关 键 词:Al  ZrV  ZrV2  吸氘
文章编号:1000-6931(2005)01-0080-04

Deuterium Absorption Property of Al/Zr-V/Mo Multifilms
WANG Hai-feng,PENG Shu-ming,ZHANG Xiao-hong,LONG Xing-gui,YANG Ben-fu.Deuterium Absorption Property of Al/Zr-V/Mo Multifilms[J].Atomic Energy Science and Technology,2005,39(1):80-83.
Authors:WANG Hai-feng  PENG Shu-ming  ZHANG Xiao-hong  LONG Xing-gui  YANG Ben-fu
Abstract:
Keywords:Al  Zr-V  ZrV_2  deuterium absorption
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