首页 | 官方网站   微博 | 高级检索  
     

软X射线谱学显微图像漂移的精确校正
引用本文:张祥志,许子健,甄香君,王勇,郭智,严睿,邰仁忠.软X射线谱学显微图像漂移的精确校正[J].核技术,2010,33(9).
作者姓名:张祥志  许子健  甄香君  王勇  郭智  严睿  邰仁忠
作者单位:中国科学院上海应用物理研究所,上海,201204
基金项目:中国科学院知识创新工程重要方向性项目,上海市基础研究重点项目 
摘    要:上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)新建成并投入使用,已实现30nm空间分辨的元素成像功能。由于机械精度和重复精度误差,不同能量扫描出的两幅或多幅图像位置会有一定量的漂移。在高分辨情况下图像漂移不仅给数据处理带来严重误差,导致分辨率下降,甚至产生错误,所以需对不同能量下的图像配准。硬件上用激光干涉仪对样品定位,并通过slope函数确定样品台移动的漂移规律,从而在移动样品过程中对位置动态校正。软件上发展一种新的基于图像分窗口相关性的数字图像自动配准方法,对采集到的两幅或多幅STXM图像配准,对每一子区的自动相关匹配来对整幅图像精确配准,在x和y方向配准精度可达小于1像素尺度(STXM目前的要求)。

关 键 词:图像配准  分窗口  相关函数  激光干涉仪  扫描透射软X射线显微

Accurate drift calibration of soft X-ray microspectroscopy images at SSRF
ZHANG Xiangzhi,XU Zijian,ZHEN Xiangjun,WANG Yong,GUO Zhi,YAN Rui,TAI Renzhong.Accurate drift calibration of soft X-ray microspectroscopy images at SSRF[J].Nuclear Techniques,2010,33(9).
Authors:ZHANG Xiangzhi  XU Zijian  ZHEN Xiangjun  WANG Yong  GUO Zhi  YAN Rui  TAI Renzhong
Abstract:
Keywords:
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司    京ICP备09084417号-23

京公网安备 11010802026262号