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| 0.1微米10级模型洁净室 | |
| 引用本文： | 严俊.0.1微米10级模型洁净室[J].暖通空调,1983(1). |
| 作者姓名： | 严俊 |
| 作者单位： | 河北工学院 |
| 摘 要： | 集成电路正在从大规模集成电路(LSI)发展到集成度更高的超大规模集成电路(超LSI)上来,尘埃问题是这些半导体制造工厂的最大问题之一。在超LSI的制造过程中,提出了以0.1微米尘埃为对象的要求洁净度更高的洁净室。为适应这种要求,近年来研制了对0.1～0.17微米尘埃具有99.99％以上捕集效率的高效空气过滤器和0.1微米垂直层流10级模型洁净室。一、0.1微米尘埃粒子的计数(略) 二、捕集0.1微米尘埃用高效空气过滤器 |
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