| MEMS电热常闭开关的设计和性能研究 |
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| 引用本文： | 平川,张蕊,薛艳,解瑞珍,王可暄.MEMS电热常闭开关的设计和性能研究[J].火工品,2015(1):10-13. |
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| 作者姓名： | 平川 张蕊 薛艳 解瑞珍 王可暄 |
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| 作者单位： | 陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室,陕西西安,710061 |
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| 摘 要： | 针对低能、微小型起爆系统在勤务处理中的安全性问题,开展了MEMS电热常闭开关技术研究。通过Ansys分析软件建立了MEMS电热常闭开关仿真模型,对MEMS电热常闭开关换能元及其电热性能进行了仿真计算,得到了MEMS电热常闭开关的设计方案。通过MEMS加工工艺制作了MEMS电热常闭开关,并测试其性能。结果表明,仿真计算结果与试验结果吻合,MEMS电热常闭开关实现了通-断转换,开关的最低作用电流为0.19A。
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| 关 键 词： | 起爆系统 低能 微小型 安全性 MEMS电热常闭开关 仿真 性能测试 |
Design and Performance Study of MEMS Electro-thermal on-off Microswitch |
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| PING Chuan,ZHANG Rui,XUE Yan,XIE Rui-zhen,WANG Ke-xuan.Design and Performance Study of MEMS Electro-thermal on-off Microswitch[J].Initiators & Pyrotechnics,2015(1):10-13. |
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| Authors: | PING Chuan ZHANG Rui XUE Yan XIE Rui-zhen WANG Ke-xuan |
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| Affiliation: | PING Chuan;ZHANG Rui;XUE Yan;XIE Rui-zhen;WANG Ke-xuan;National Key Laboratory of Applied Physics and Chemistry,Shaanxi Applied Physics and Chemistry Research Institute; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Initiation system Low-power Micro Security MEMS electro-thermal on-off switch Simulation Performance test |
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