| 热处理对Fe_(84)Ga_(16)合金薄膜中内应力的影响 |
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| 引用本文： | 晏建武,彭阿芳,罗亮,曹清华,张丽玲.热处理对Fe_(84)Ga_(16)合金薄膜中内应力的影响[J].金属热处理,2015(4):85-88. |
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| 作者姓名： | 晏建武 彭阿芳 罗亮 曹清华 张丽玲 |
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| 作者单位： | 1. 江西省精密驱动与控制重点实验室，江西 南昌 330099; 南昌工程学院 微纳驱动与控制研究所，江西 南昌 330099
2. 南昌航空大学 航空制造工程学院,江西 南昌,330063 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江西省科技厅科技支撑计划，江西省科技厅对外合作，江西省教育厅落地计划 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射技术制备了Fe84Ga16薄膜并进行了退火处理,用SEM和XRD研究了薄膜的显微结构和内应力,计算了溅射态和退火态薄膜的内应力。结果发现,溅射态和退火态薄膜都以A2相存在,并随着退火温度的升高,择优取向变得愈加不明显。与退火后的薄膜相比,溅射态薄膜内应力更大,且为压应力。低温退火后,薄膜内应力有一定程度的减小,随着退火温度的升高,薄膜内应力又逐渐回升,但回升的幅度不大。
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| 关 键 词： | Fe-Ga合金薄膜 磁控溅射 退火 显微结构 内应力 |
Influence of heat treatment on internal stress of Fe84 Ga16 alloy film |
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| Yan Jianwu
,
Peng Afang
,
Luo Liang
,
Cao Qinghua
,
Zhang Liling.Influence of heat treatment on internal stress of Fe84 Ga16 alloy film[J].Heat Treatment of Metals,2015(4):85-88. |
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| Authors: | Yan Jianwu Peng Afang Luo Liang Cao Qinghua Zhang Liling |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Fe-Ga alloy film magnetron sputtering annealing microstructure internal stress |
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