| 原子层沉积技术改性CrN硬质涂层性能的第一性原理研究 |
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| 引用本文： | 蒋钊,高恒蛟,周晖,肖更竭,成功,汪科良.原子层沉积技术改性CrN硬质涂层性能的第一性原理研究[J].表面技术,2021,50(11):202-207. |
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| 作者姓名： | 蒋钊 高恒蛟 周晖 肖更竭 成功 汪科良 |
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| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000 |
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| 摘 要： | 目的 基于密度泛函理论的第一性原理,对原子层改性氮化铬(CrN)涂层的关键性能进行仿真计算,以充分了解涂层微观组织结构演变和微观界面结构本质,为后续原子层沉积CrN工艺研究提供理论指导.方法 通过建立CrN(011)-CrN(011)复合体系模型,分析计算了涂层的界面性能、弹性性能及热力学性能.结果 模型结构经过优化后,各原子层间间距均发生不同程度的减小,且各层间距趋于一致.态密度分析表明:其优良的结构稳定性主要来自6.4～4.8 eV范围内Cr原子3d轨道和N原子2p轨道间的相互作用;基于应力应变的弹性常数满足波恩准则判定依据,力学性能稳定,计算结果为硬度30.29 GPa,体积模量409.83 GPa,剪切模量270.86 GPa.采用NVT系综模拟,当温度T≤1023 K时,温度波动振荡收敛;当温度T>1023 K时,温度在某个时间点瞬时激增而不收敛,可以得出CrN涂层的极限使用温度为1023 K.结论 原子层沉积改性的CrN硬质涂层具有优良的界面相容性,成键强度高,界面能低,结构性能稳定.
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| 关 键 词： | 第一性原理 原子层沉积 CrN 界面性能 性能仿真 |
| 收稿时间： | 2020/12/22 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/5/8 0:00:00 |
First-principles Calculations on the Performance of the Atom Layer Deposition Modified CrN Hard Coatings |
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| JIANG Zhao,GAO Heng-jiao,ZHOU Hui,XIAO Geng-jie,CHENG Gong,WANG Ke-liang.First-principles Calculations on the Performance of the Atom Layer Deposition Modified CrN Hard Coatings[J].Surface Technology,2021,50(11):202-207. |
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| Authors: | JIANG Zhao GAO Heng-jiao ZHOU Hui XIAO Geng-jie CHENG Gong WANG Ke-liang |
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| Affiliation: | Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Space Technology Institute of Physics, Lanzhou 730000, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | first-principles atomic layer deposition CrN interface property performance simulation |
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